|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Особенности распыления кремниевых наносфер ионами инертных газов низкой энергиидоклад на конференции
- Авторы: Сычева А.А., Воронина Е.Н.
- Международная Конференция : 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
- Даты проведения конференции: 25-27 мая 2021
- Дата доклада: 26 мая 2021
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Сычева А.А.
- Место проведения: Москва, Russia
-
Аннотация доклада:
С целью изучения влияния кривизны поверхности на механизмы распыления в данной работе выполнено моделирование методом молекулярной динамики воздействия ионов Ar и Xe низкой энергии на кремниевые наносферы с радиусом до 6 нм. Показано влияние массы иона на особенности процесса его взаимодействия с мишенями, обладающими различной кривизной, и дано объяснение возрастания коэффициента распыления при уменьшении радиуса сферы.
- Добавил в систему: Сычева Анастасия Александровна