Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Моделирование функционализации поверхности low-k диэлектриков в тренчах высокочастотной плазмой с электронным пучком
доклад на конференции
Авторы:
Соловых А.А.
,
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
Международная Конференция :
52-я Международная Тулиновская конференция по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами Москва, МГУ им М.В. Ломоносова, 30 мая - 1 июня 2023
Даты проведения конференции:
30 мая - 1 июня 2023
Дата доклада:
31 мая 2023
Тип доклада:
Устный
Докладчик:
не указан
не указан
Соловых А.А.
Сычева А.А.
Воронина Е.Н.
Место проведения:
Москва, Russia
Добавил в систему:
Соловых Александр Алексеевич