|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Удаление метильных групп с поверхности low-k диэлектриков плазмой различного состава.доклад на конференции
- Авторы: Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
- Международная Конференция : 53-я международная Тулиновская конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
- Даты проведения конференции: 28-30 мая 2024
- Дата доклада: 29 мая 2024
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Соловых А.А.
- Место проведения: Москва, МГУ им.М.В.Ломоносова.НИИЯФ, Россия
- Добавил в систему: Соловых Александр Алексеевич