|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Механизмы модификации и разрушения CFx-пленок при атомно-слоевом травлении диоксида кремниядоклад на конференции
- Авторы: Соловых А.А., Воронина Е.Н.
- Международная Конференция : XXXII Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых учёных «Ломоносов-2025». Секция «Физика»
- Даты проведения конференции: 11-25 апреля 2025
- Дата доклада: 15 апреля 2025
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Москва, Россия
- Добавил в систему: Соловых Александр Алексеевич