|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Evaluation of plasma density in CCP RF discharges by Langmuir probe: experiment and numerical simulationдоклад на конференции
- Авторы: Voloshin D., Rakhimova T., Mankelevich Yu, Braginsky O., Kovalev A., Vasilieva A., Proshina O.
- Конференция : 4th Workshop on Radio Frequency Discharges
- Даты проведения конференции: 2013
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: Voloshin D.
- Место проведения: Presqu'île de Giens France, France
- Добавил в систему: Волошин Дмитрий Григорьевич