Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, возможность загрузки и скачивания файлов временно недоступна.
скрыть
отправить сообщение
Волошин Дмитрий Григорьевич
пользователь
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
,
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
, ведущий научный сотрудник, с 15 января 2007
кандидат физико-математических наук с 2011 года
Соавторы:
Рахимова Т.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Васильева А.Н.
,
Ковалев А.С.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Зырянов С.М.
,
Брагинский О.В.
,
Поройков А.Ю.
,
Клоповский К.С.
,
Кропоткин А.Н.
,
Чукаловский А.А.
показать полностью...
,
Абрамовская Е.А.
,
Воронина Е.Н.
,
Зосимов А.В.
,
Лунин В.В.
,
Самойлович В.Г.
,
Braginsky O.V.
,
Chatterjee A.
,
Богданова М.А.
,
Зотович А.И.
,
Курчиков К.А.
,
Олеванов М.А.
,
Baklanov M.R.
,
Booth J.
,
Guaitella O.
,
Guerra V.
,
Krishtab M.B.
,
Дагесян С.А.
,
Козлов К.В.
,
Кривченко В.А.
,
Миронович К.В.
,
Armini S.
,
Chan B.
,
Drag C.
,
Guaitella O.
,
J-P B.
,
Malykhin E.M.
,
Malykhin E.M.
,
Nahon L.
,
Santos S.J.
,
Zyulkov I.
,
de Gendt S.
,
de Oliveira N.
,
Аванесов А.В.
,
Амиров И.И.
,
Волынец А.В.
,
Дамбраускас С.Г.
,
Иванов В.В.
,
Попов Н.А.
,
Саенко В.Б.
,
Сычева А.А.
,
Шамирян Д.
43 статьи
,
1 книга
,
21 доклад на конференциях
,
4 тезисов докладов
,
31 НИР
,
1 патент
,
1 диссертация
,
1 дипломная работа
,
1 курсовая работа
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 310, Scopus: 343
IstinaResearcherID (IRID): 434680
ResearcherID:
D-8105-2012
Деятельность
Статьи в журналах
2022
Quenching of O2(b1Σg+) by O(3P) atoms. Effect of gas temperature
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Volynets A.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Chukalovsky A.
,
Mankelevich Yu
,
Guerra V.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 31, № 6, с. 065012
DOI
2021
Dynamics of Ar metastable and resonance states in pulsed capacitively coupled plasmas
Kovalev A.S.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Proshina O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
в журнале
Physics of Plasmas
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 28, с. 093507
DOI
2021
“Virtual IED sensor” for df rf CCP discharges
Bogdanova M.
,
Lopaev D.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Zotovich A.
,
Zyryanov S.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 30, с. 075020
DOI
2020
Area-selective Ru ALD by amorphous carbon modification using H plasma: from atomistic modeling to full wafer process integration
Zyulkov I.
,
Voronina E.N.
,
Krishtab M.
,
Voloshin D.G.
,
Chan B.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Armini S.
,
De Gendt S.
в журнале
Materials Advances
, издательство
Royal Society of Chemistry
(United Kingdom)
, № 1, с. 3049-3057
DOI
2020
Determination of absolute O(3P) and O2(a1Δg) densities and kinetics in fully modulated O2 dc glow discharges from the O2(X3Σg-) afterglow recovery dynamics
Booth J-P
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Santos Sousa J.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Mankelevich Yu
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 29, № 11, с. 115009
DOI
2020
ICP argon discharge simulation: The role of ion inertia and additional RF bias
Kropotkin A.N.
,
Voloshin D.G.
в журнале
Physics of Plasmas
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 27, № 5, с. 053507
DOI
2020
Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
Voronina E.N.
,
Sycheva A.A.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Proshina O.V.
,
Voloshin D.G.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Mankelevich Y.A.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, № 2, с. e1900165
DOI
2019
Determination of the excited argon states densities in high-frequency capacitive discharge
Kovalev A.S.
,
Kurchikov K.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
в журнале
Physics of Plasmas
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 26, № 12, с. 123501
DOI
2019
Ion composition of rf CCP in Ar/H2 mixtures
Bogdanova Maria
,
Lopaev Dmitry
,
Zyryanov Sergey
,
Voloshin D.G.
,
Rakhimova Tatyana
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 28, № 9, с. 095017
DOI
2019
Oxygen (3P) atom recombination on a Pyrex surface in an O2 plasma
Booth J.P.
,
Guaitella O.
,
Chatterjee A.
,
Drag C.
,
Guerra V.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Mankelevich Yu
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 28, с. 055005
DOI
2019
Simulation of an Inductive Discharge in Argon with the Gas Flow and Inhomogeneous Gas Temperature
Kropotkin A.N.
,
Voloshin D.G.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 45, № 8, с. 786-797
DOI
2019
МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В АРГОНЕ С УЧЕТОМ ПРОТОКА И НЕОДНОРОДНОСТИ ТЕМПЕРАТУРЫ ГАЗА
Кропоткин А.Н.
,
Волошин Д.Г.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 45, № 8, с. 755-768
DOI
2018
Relation between the ion flux and plasma density in an rf CCP discharge
Bogdanova Maria
,
Lopaev Dmitry
,
Zyryanov Sergey
,
Voloshin Dmitry
,
Rakhimova Tatyana
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 27, № 2, с. 025003
DOI
2017
Simulation and optical spectroscopy of a DC discharge in a CH4/H2/N2 mixture during deposition of nanostructured carbon films
Mironovich K.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Voloshin D.G.
,
Dagesyan S.A.
,
Krivchenko V.A.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 43, № 8, с. 844-857
DOI
2017
МОДЕЛИРОВАНИЕ И ОПТИЧЕСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ РАЗРЯДА ПОСТОЯННОГО ТОКА В CH4/H2 СМЕСИ ПРИ ОСАЖДЕНИИ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК
Миронович К.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Дагесян С.А.
,
Кривченко В.А.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 43, № 8, с. 689-702
DOI
2016
Determination of Plasma Density from Data on the Ion Current to Cylindrical and Planar Probes
Voloshin D.G.
,
Vasileva A.N.
,
Kovalev A.S.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 42, № 12, с. 1146-1154
DOI
2016
Modeling of Single and Dual Frequency Capacitive Discharge in Argon Hydrogen Mixture - Dynamic Effects and Ion Energy Distribution Functions
Voloshin Dmitry G.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Proshina Olga V.
,
Rakhimova Tatyana V.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, том 13
DOI
2016
Nonstationary effects in ozone generation by barrier discharges in N2/O2 mixtures
Zosimov A.V.
,
Lunin V.V.
,
Abramovskaya E.A.
,
Samoilovich V.G.
,
Mankelevich Yu A.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimova T.V.
,
Voloshin D.G.
в журнале
Russian Journal of Physical Chemistry A
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 90, № 8, с. 1687-1692
DOI
2016
Ozone production and losses in N2/O2 mixtures in an ozone generator
Mankelevich Yu A.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimova T.V.
,
Voloshin D.G.
,
Chukalovskii A.A.
,
Zosimov A.V.
,
Lunin V.V.
,
Samoilovich V.G.
в журнале
Russian Journal of Physical Chemistry A
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 90, № 9, с. 1896-1902
DOI
2016
Plasmachemical and Heterogeneous Processes in Ozonizers with Oxygen Activation by a Dielectric Barrier Discharge
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimova T.V.
,
Voloshin D.G.
,
Chukalovsky A.A.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 42, № 10, с. 956-969
DOI
2016
The plasma sheath around planar probes: effects of ion collisions
Voloshin Dmitry
,
Rakhimova Tatyana
,
Mankelevich Yuri
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 25, № 1, с. 015018
DOI
2016
Нестационарные эффекты в генерации озона барьерным разрядом в смесях N2/O2
Зосимов А.В.
,
Лунин В.В.
,
Самойлович В.Г.
,
Абрамовская Е.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Поройков A.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Волошин Д.Г.
в журнале
Журнал физической химии
, издательство
Наука
(М.)
, том 90, № 8, с. 1279-1284
DOI
2016
Образование и гибель озона в озонаторах в N2/O2-смесях
Манкелевич Ю.А.
,
Поройков A.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Волошин Д.Г.
,
Чукаловский А.А.
,
Зосимов А.В.
,
Лунин В.В.
,
Самойлович В.Г.
в журнале
Журнал физической химии
, издательство
Наука
(М.)
, том 90, № 9, с. 1421-1427
DOI
2016
Определение плотности плазмы по данным ионного тока на цилиндрический и плоский зонд
Волошин Д.Г.
,
Васильева А.Н.
,
Ковалев А.С.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 42, № 12, с. 1099-1108
DOI
2016
Плазмохимические и гетерогенные процессы в озонаторах с активацией кислорода барьерным разрядом
Манкелевич Ю.А.
,
Воронина Е.Н.
,
Поройков A.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Волошин Д.Г.
,
Чукаловский А.А.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 42, № 10, с. 912-926
DOI
2015
Evaluation of plasma density in rf ccp discharges from ion current to langmuir probe: experiment and numerical simulation
Dmitry Voloshin
,
Alexander Kovalev
,
Mankelevich Yuri A.
,
Olga Proshina
,
Rakhimova Tatyana V.
,
Anna Vasilieva
в журнале
European Physical Journal D
, издательство
Springer Verlag
(Germany)
, том 69, № 1, с. 23
DOI
2015
Measurements of the Populations of Metastable and Resonance Levels in the Plasma of an RF Capacitive Discharge in Argon
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
,
Kovalev A.S.
,
Kurchikov K.A.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 41, № 5, с. 426-433
DOI
2014
Low-k films modification under EUV and VUV radiation
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil’eva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Kurchikov K.
,
Proshina O.V.
,
Voloshin D.G.
, Novikova N.N.,
Krishtab M.B.
, Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 47, № 2, с. 025102
DOI
2012
Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
Braginsky O.
,
Kovalev A.
,
Lopaev D.
,
Proshina O.
,
Rakhimova T.
,
Vasilieva A.
,
Voloshin D.
,
Zyryanov S.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 45, № 1, с. 015201-015201
DOI
2011
The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
, Smirnov E.A.,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 109, № 4, с. 043303
DOI
2010
Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
Dmitry Voloshin
,
Oleg Braginsky
,
Alexander Kovalev
,
Dmitry Lopaev
,
Olga Proshina
,
Tatyana Rakhimova
,
Anna Vasilieva
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
, том 55, № 7
2010
Two modes of capacitively coupled rf discharge in CF4
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 19, № 6, с. 065013
DOI
2009
Experimental and Theoretical Studies of Radical Production in RF CCP Discharge at 81-MHz Frequency in Ar/CF4 and Ar/CHF3 Mixtures
Rakhimova Tatyana V.
,
Braginsky Oleg V.
,
Klopovskiy Konstantin S.
,
Kovalev Alexander S.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Proshina Olga V.
,
Rakhimov Alexander T.
, Shamiryan Denis,
Vasilieva Anna N.
,
Voloshin Dmitry G.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 37, № 9, Part 1, с. 1683-1696
DOI
2008
Ion energy distribution function in dual-frequency rf capacitively coupled discharges: analytical model
Olevanov M.
,
Proshina O.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
в журнале
Physical Review E - Statistical, Nonlinear, and Soft Matter Physics
, издательство
American Physical Society
(United States)
, том 78, № 2 Pt 2, с. 026404
DOI
2007
Experimental and theoretical study of ion energy distribution function in single and dual frequency RF discharges
Rakhimova Tatyana V.
,
Braginsky Oleg V.
,
Ivanov Vladimir V.
,
Kovalev Alexander S.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Olevanov Michael A.
,
Proshina Olga V.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Vasilieva Anna N.
,
Voloshin Dmitry G.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 35, № 5, с. 1229-1240
DOI
2007
Simulation of gas-phase kinetics in CHF3 : H-2 : O-2 mixtures
Voloshin Dmitry G.
,
Klopovskiy Konstantin S.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Popov Nikolay A.
,
Rakhimova Tatyana V.
,
Rakhimov Alexander T.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 35, № 6, Part 2, с. 1691-1703
DOI
2006
Development of the electron impact cross section set for CHF3. Monte Carlo simulation of the swarm experiments in pure CHF3 and CHF3/Ar mixtures
Voloshin D.G.
,
Rakhimova T.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Mankelevich Yu A.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 44, № 1, с. 121-126
DOI
Статьи в сборниках
2016
Plasma chemistry of ozone in DBD discharges
Abramovskaia E.A.
,
Kozlov K.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimova T.V.
,
Voloshin D.G.
в сборнике
Proc. 15 Int. Symp. on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistry
, место издания
Muni Press Brno, Czech Republic
, с. 217-220
2016
Плазмохимия озона в барьерном разряде
Абрамовская Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Козлов К.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
в сборнике
материалы 34 Всероссийской конференции "Озон и другие экологически чистые окислители.Наука и технологии"
, серия
ISBN 978-5 -317-05464-9
, издательство
ООО "МАКС Пресс"
(Москва)
, с. 170-176
2009
Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Malykhin E.M.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в сборнике
Materials Research Society Symposium Proceedings
, место издания
Materials Research Society
, том 1156
DOI
2009
The Spatial Distribution of Radicals in the Dual Frequency (1.76 MHz /81 MHz) Capacitive Discharge in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures
Braginsky O.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
в сборнике
Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany
, место издания
Bochum, Germany
, с. 39
2008
Пространственное распределение радикалов в плазме двухчастотного (1.76 МГц / 81 МГц) емкостного разряда в смесях CHF3/Ar и CF4/Ar. V Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Шамирян Д.
в сборнике
Сборник трудов V Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября 2008, Иваново)
, место издания
Ивановский государственный химико-тенологический университет Иваново
, том 2, с. 506-509
2006
Experimental and Theoretical Study of Ion Energy Distribution Function in the Single and Dual Frequency Capacitive Coupled RF Discharge in Argon Plasma
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Olevanov M.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
в сборнике
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA
, место издания
Columbus, Ohio, USA
Книги
2006
Опытные образцы источников УФ-излучения и озона на основе различных газоразрядных схем. Препринт НИИЯФ МГУ – 2006- 20/819
Аванесов Алексей Вадимович
,
Волошин Д.Г.
,
Дамбраускас С.Г.
,
Рахимов А.Т.
,
Саенко В.Б.
Доклады на конференциях
2021
Теоретическое и экспериментальное исследование кинетических процессов в индукционном разряде в смеси Ar/Cl2
(Устный)
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Кропоткин А.Н.
,
Лопаев Д.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимова Т.В.
,
Амиров И.И.
IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии
, Иваново, Россия, 13-17 сентября 2021
2021
Столкновительно радиационные модели для контроля потока фотонов в плазменных реакторах
(Устный)
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Рахимов А.Т.
XXVIII Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых "Ломоносов 2021"
, МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия, 12-23 апреля 2021
2020
КОМПЛЕКСНАЯ ДИАГНОСТИКА ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ АРГОНА ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В РЕАКТОРЕ С УДАЛЕННЫМ ИСТОЧНИКОМ ПЛАЗМЫ
(Устный)
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
,
Изюмов М.О.
,
Амиров И.И.
,
Рахимова Т.В.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы" (ФНТП – 2020)
, Казань, Россия, 9-13 ноября 2020
2020
A NEW LOOK AT OXYGEN PLASMAS-QUANTITATIVE SPECTROSCOPY FOR RIGOROUS TESTING OF MODELS
(Устный)
Авторы:
Booth J-P
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Lopaev DV
,
Zyryanov SM
,
Rakhimova TV
,
Voloshin DG
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
International Symposium on the Physics of Ionized Gases
, Белград, Сербия, 24-27 августа 2020
2020
PIC MCC AND FLUID SIMULATION OF PROCESSING PLASMAS: COLLISION RADIATIVE MODELS AND ION ENERGY DISTRIBUTION FUNCTIONS
(Приглашенный)
Автор:
Voloshin D.
30th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases
, Шабац, Сербия, 24-28 августа 2020
2020
Моделирование индукционного разряда в аргоне с дополнительным ВЧ напряжением на электроде
(Стендовый)
Авторы:
Кропоткин А.Н.
,
Волошин Д.Г.
XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
2020
Столкновительно радиационные модели для высокочастотного емкостного разряда в аргоне
(Стендовый)
Автор:
Волошин Д.Г.
XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
2019
An Inductively Coupled Plasma Model in Argon with the Gas Flow and Inhomogeneity of the Gas Temperature
(Устный)
Авторы:
Kropotkin A.N.
,
Voloshin D.G.
9th Radio-Frequency Discharge Workshop
, Дублин, Ирландия, 24-25 июня 2019
2019
Ion composition and energy spectra in Ar/H2 CCP discharges
(Устный)
Авторы:
Bogdanova M.
,
Lopaev D.
,
Voloshin D.
,
Rakhimova T.
,
Zyryanov S.
9th Radio-Frequency Discharge Workshop
, Дублин, Ирландия, 24-25 июня 2019
2019
A comprehensive diagnostic study of a DC positive column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
(Устный)
Авторы:
J-P Booth
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Drag C.
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Voloshin D.
,
Rakhimova T.
13-th Frontiers in low Temperature plasma diagnostics & 1-th Frontiers in low Temperature plasma simulation
, Bad Honnef, Германия, 13-16 мая 2019
2018
Density of metastable O2 (b1Σ +) molecules in an O2 DC discharge measured by vacuum ultraviolet absorption and optical emission spectroscopy
(Стендовый)
Авторы:
JEAN-PAUL BOOTH
,
ABHYUDAY CHATTERJEE
,
OLIVIER GUAITELLA
,
DMITRY LOPAEV
,
SERGEY ZYRYANOV
,
TATYANA RAKHIMOVA
,
DMITRY VOLOSHIN
,
YURI MANKELEVICH
,
OLIVEIRA NELSON DE
,
LAURENT NAHON
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA)
, Portland, США, 5-9 ноября 2018
2017
Диссоциация О2 электронным ударом в плазме
(Устный)
Авторы:
Guaitella O.
,
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Лопаев Д.В.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимова Т.В.
,
Волошин Д.Г.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2017
Поток и энергетическое распределение ионов на электроде в двухчастотном ВЧЕ разряде
(Устный)
Авторы:
Зырянов С.М.
,
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Рахимова Т.В.
,
Лопаев Д.В.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2017
PIC MCC simulation of CCP discharges and experimental data: collision radiative models, ion fluxes and ion energy distribution functions.
(Приглашенный)
Автор:
Волошин Д.Г.
6th Workshop on Radio Frequency Discharges
, полуостров Жьен (Presqu'île de Giens France), Франция, 21-23 мая 2017
2016
Creating a self-consistent electron cross sections set for oxygen molecules: current status and remaining challenges
(Устный)
Автор:
Voloshin D.
Workshop on Oxygen Plasma Kinetics
, Рейкьявик, Исландия, 19-20 сентября 2016
2016
Plasma chemistry of ozone in DBD discharges.
(Стендовый)
Авторы:
Abramovskaia E.A.
,
Kozlov K.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimova T.V.
,
Voloshin D.G.
15 International Symposium on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistry (Hakone-XV)
, Brno, Чехия, 11-16 сентября 2016
2016
Плазмохимия озона в барьерном разряде
(Стендовый)
Авторы:
Абрамовская Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Рахимова Т.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Козлов К.В.
34-ая Всероссийская конференция по озону «Озон и другие экологически чистые окислители. Наука и технологии»
, Москва, Россия, 29-30 июня 2016
2014
Evaluation of plasma density in CCP RF discharges by planar Langmuir probe: experiment and numerical simulation
Авторы:
Voloshin D.
,
Rakhimova T.
,
Proshina O.
,
Kovalev A.
,
Vasilieva A.
,
Mankelevich Yu
The XXII Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
, Greifswald, Germany, Германия, 2014
2014
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПЛОТНОСТИ ПЛАЗМЫ В ВЧ ЕМКОСТНЫХ РАЗРЯДАХ ПО ДАННЫМ ИОННОГО ТОКА НА ЛЕНГМЮРОВСКИЙ ЗОНД: ЭКСПЕРИМЕНТ И ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Рахимова Т.В.
,
Прошина О.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Васильева А.Н.
,
Ковалев А.С.
XLI Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 10 – 14 февраля 2014 г.
, г. Звенигород, 2014
2013
Evaluation of plasma density in CCP RF discharges by Langmuir probe: experiment and numerical simulation
Авторы:
Voloshin D.
,
Rakhimova T.
,
Mankelevich Yu
,
Proshina O.
,
Kovalev A.
,
Vasilieva A.
,
Braginsky O.
4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, Presqu'île de Giens France, Франция, 2013
2006
Экспериментальное и теоретическое изучение функции распределения энергии ионов в одно- и двухчастотном емкостно-связанном ВЧ разряде в аргоновой плазме
(Стендовый)
Авторы:
Брагинский О.В.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Олеванов М.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006
, Columbus, Ohio, USA, 2006
Тезисы докладов
2021
Теоретическое и экспериментальное исследование кинетических процессов в индукционном разряде в смеси Ar/Cl2
Волошин Д.Г.
,
Кропоткин А.Н.
,
Лопаев Д.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимова Т.В.
,
Амиров И.И.
в сборнике
IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии: сборник трудов
, место издания
Иваново Иван. гос. хим.-технол
, тезисы, с. 40
2020
Моделирование индукционного разряда в аргоне с дополнительным ВЧ напряжением на электроде
Кропоткин А.Н.
,
Волошин Д.Г.
в сборнике
Сборник тезисов докладов XLVII международная Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС, 16-20 марта 2020г
, место издания
Плазмаиофан Москва
, том 1, тезисы, с. 166-166
DOI
2007
Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Book of Abstracts of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
, место издания
Praha
, тезисы, с. 2133-2136
2007
Experimental Study of Dual Frequency RF Discharge in Argon for Different Gas Pressures
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), Book of abstracts
, место издания
ICPIG-XXVIII Prague, Czech Republic
, тезисы, с. 2114-2117
НИРы
22 апреля 2022 - 30 сентября 2023
Математическое моделирование распределения параметров плазмы, оптимизация конструкции и разработка системы оптического контроля плазмы разряда экспериментального и опытного образца реактора для проведения технологических процессов плазмохимического травления (ПХТ) высокоаспектных диэлектрических структур на пластинах диаметром до 300 мм в микроэлектронном производстве уровня 65 нм
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Кропоткин А.Н.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Зиганшин И.И.
,
Кожин В.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Скурихин А.В.
,
Чукаловский А.А.
,
Шибанов Д.Р.
13 августа 2021 - 31 декабря 2022
Соглашение о сотрудничестве между НИИЯФ МГУ и IMEC
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Воронина Е.Н.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Прошина О.В.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
29 июля 2021 - 30 июня 2024
Исследование согласованной кинетики отрицательных ионов, атомов и возбужденных молекул в импульсной кислородной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Волошин Д.Г.
Ответственные исполнители:
Зырянов С.М.
,
Кропоткин А.Н.
,
Чукаловский А.А.
Участники НИР:
Зиганшин И.И.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Мележенко Д.Е.
,
Рахимова Т.В.
20 мая 2019 - 31 декабря 2020
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Воронина Е.Н.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Кропоткин А.Н.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Шибанов Д.Р.
3 декабря 2018 - 3 января 2021
Исследование и разработка многостадийных, циклических процессов плазмохимического травления материалов с атомарным разрешением для формирования многоуровневых систем металлизации суб-10 нм технологии изготовления интегральных схем
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А. Валиева Российской академии наук
Руководитель:
Амиров И.И.
Ответственные исполнители:
Воронина Е.Н.
,
Зотович А.И.
,
Лопаев Д.В.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Горлачев Е.С.
,
Изюмов М.О.
,
Куприянов А.Н.
,
Наумов В.В.
,
Чукаловский А.А.
3 декабря 2018 - 3 января 2021
Исследование способов предотвращения деградации материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью при производстве СБИС на этапе плазмохимического травления
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Лопаев Д.В.
Ответственные исполнители:
Волынец А.В.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Манкелевич Ю.А.
10 октября 2018 - 1 октября 2020
Исследование высокочастотной плазмы, контролируемой электронным пучком, для новейших реакторов современной микротехнологии
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Зырянов С.М.
Ответственные исполнители:
Богданова М.А.
,
Зотович А.И.
,
Чукаловский А.А.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Лопаев Д.В.
3 августа 2018 - 30 июня 2020
Моделирование индукционного и емкостного разрядов в плазменных реакторах для обработки новых материалов микроэлектроники
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Волошин Д.Г.
Участник НИР:
Кропоткин А.Н.
2 мая 2017 - 31 декабря 2018
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Ковалев А.С.
,
Поройков А.Ю.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
8 ноября 2016 - 31 декабря 2018
Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Ответственные исполнители:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
16 мая 2016 - 31 декабря 2018
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Воронина Е.Н.
,
Зотович А.И.
,
Иванов А.С.
,
Кропоткин А.Н.
,
Курчиков К.А.
,
Палов А.П.
,
Сычева А.А.
25 февраля 2016 - 31 декабря 2017
Теоретическое и экспериментальное исследование механизмов нуклеации и роста графеноподобных пленок в плазме тлеющего разряда
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Миронович К.В.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Горелкина А.Д.
,
Дагесян С.А.
1 января 2016 - 31 декабря 2018
Контроль вакуумного ультрафиолетового излучения и параметров плазмы в реакторах нового поколения для наноэлектроники.
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Ковалев А.С.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Чукаловский А.А.
1 января 2015 - 31 декабря 2025
Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Алов Н.В.
,
Богацкая А.В.
,
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волкова Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронина Е.Н.
,
Гаврилов А.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зиганшин И.И.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Кривченко В.А.
,
Кропоткин А.Н.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Персианцева Н.М.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Поповичева О.Б.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Серов А.О.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Сычева А.А.
,
Тимофеев М.А.
,
Тихонова О.В.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Шибанов Д.Р.
,
Шкуренков И.А.
22 мая 2014 - 30 декабря 2016
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
10 февраля 2014 - 31 декабря 2015
Энергетический спектр ионов на поверхности электрода в многочастотной вч плазме
Физический факультет
Руководитель:
Зырянов С.М.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
1 января 2014 - 31 декабря 2016
Исследование кинетики генерации и гибели озона в присутствии азота и гетерогенных катализаторов для повышения энергоэффективности озонаторов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Участники НИР:
Абрамовская Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Зосимов А.В.
,
Иванов А.С.
,
Козлов К.В.
,
Лунин Б.С.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Савилов С.В.
,
Самойлович В.Г.
,
Чукаловский А.А.
1 января 2013 - 31 декабря 2015
Физические процессы в плазме магнетронного разряда с неоднородным катодом.
Федеральное государственное унитарное предприятие " Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований"
Руководитель:
Паль А.Ф.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Мазалов Д.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Митин В.С.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Серов А.О.
,
Старостин А.Н.
,
Филиппов А.В.
1 июня 2012 - 31 июля 2015
Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Чукаловский А.А.
12 марта 2012 - 19 июня 2013
Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Палов А.П.
,
Пащенко П.В.
,
Пилевский А.А.
,
Попов Н.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Селезнев Б.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Ястребов А.А.
1 февраля 2012 - 30 ноября 2013
Механизм модификации нанопористых диэлектрических материалов при травлении во фторуглеродной плазме
Физический факультет
Руководитель:
Зырянов С.М.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Курчиков К.А.
,
Шкуренков И.А.
1 января 2012 - 31 декабря 2014
Исследование объемных и поверхностных процессов в неравновесной низкотемпературной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Аванесов А.В.
,
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волкова Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Гаврилов А.В.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
КЛАВДИЕВ В.В.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Намиот В.А.
,
Паль А.Ф.
,
Персианцева Н.М.
,
Пилевский А.А.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Поповичева О.Б.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Серов А.О.
,
Скурихин А.В.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Тихонова О.В.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
1 января 2012 - 31 декабря 2014
Исследование фундаментальных механизмов возникновения дефектов в процессе травления материалов с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости (ultra low-k, ULK) в двухчастотной ВЧ плазме фторуглеводородов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Прошина О.В.
12 октября 2011 - 5 сентября 2012
Разработка катодного узла нейтрализатора заряда ионного потока энергоэффективных электроракетных двигателей малых космических аппаратов на основе автоэмиттера из нанокристаллического графита
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Пилевский А.А.
,
Попов А.М.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
1 декабря 2010 - 15 ноября 2012
Исследование механизмов формирования выходного излучения многокатодных рентгеновских источников перспективных рентгеновских 3D-сканеров с электронным сканированием излучающей точки на основе высокоэффективных автоэмиссионных нанографитовых катодов в режиме электронной коммутации управляющих напряжений
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Евлашин С.А.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Пилевский А.А.
,
Попов А.М.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
28 июня 2010 - 15 декабря 2012
Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Чукаловский А.А.
,
Шарапова П.Р.
,
Шевнин П.Л.
5 октября 2009 - 15 сентября 2010
Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Либерман М.А.
Участники НИР:
Белоусов М.Э.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кожин В.А.
,
Кривченко В.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Намиот В.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Чукаловский А.А.
7 июля 2009 - 1 сентября 2011
Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Харин В.Ю.
,
Чукаловский А.А.
,
Шарапова П.Р.
,
Шевнин П.Л.
1 июня 2009 - 1 сентября 2011
Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Унтила Г.Г.
Участники НИР:
Буренков И.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Кривченко В.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Палов А.П.
,
Пащенко П.В.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Селезнев Б.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Чеботарева А.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Шкуренков И.А.
1 января 2009 - 31 декабря 2011
Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов при взаимодействии плазмы с новыми пористыми материалами с низкой диэлектрической константой
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Ковалев А.С.
Участники НИР:
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
1 января 2008 - 31 декабря 2010
Исследование процессов в плазме многочастотных емкостных разрядов при масштабировании по мощности и размерам плазменных реакторов третьего поколения для наноэлектроники
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Малыхин Е.М.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
Патенты
2016
Способ измерения плотности электронов в плазме методом оптической спектроскопии
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Ястребов А.А.
#2587468, 20 июня
Диссертация
2011
Исследование процессов в плазме высокочастотных емкостных разрядов низкого давления, возбуждаемых на одной и двух частотах
Кандидатская диссертация по специальности 01.04.08 - Физика плазмы (физ.-мат. науки)
Автор:
Волошин Д.Г.
, к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
Научный руководитель:
Рахимова Т.В.
, к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
Защищена в совете
Д 501.001.45
при МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководство дипломными работами
2018
Исследование кинетики заряженных частиц и активных нейтральных частиц в плазме индукционных разрядов
Научный руководитель:
Волошин Д.Г.
Автор: Кропоткин А.Н., (Бакалавр)
Руководство курсовыми работами
2016
Решение уравнения Больцмана для создания самосогласованых наборов сечений рассеяния электронов на атомах и молекулах
Научный руководитель:
Волошин Д.Г.
Автор: Кропоткин А.Н., (Бакалавр)