|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследование зондовыми методами режимов работы системы плазменных источников, предназначенных для ионно-стимулированного напыления функциональных покрытийдипломная работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Павлов В.Б.
- Автор: Рябушко Алексей Владимирович
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2016
- Аннотация: В дипломе выполнена работа по выявлению с помощью зондового метода диагностики плазмы факторов, оказывающих влияние на параметры разряда (концентрацию, температуру электронов и ионный ток), и определены оптимальные режимы работы системы плазменных источников, при которых достигается наиболее высокая плотность ионного тока и однородность на диаметре 150мм
- Добавил в систему: Павлов Владимир Борисович