Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
отправить сообщение
Павлов Владимир Борисович
пользователь
кандидат физико-математических наук с 2005 года
Прежние места работы
(Нажмите для отображения)
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение радиофизики
,
Кафедра физической электроники
, старший научный сотрудник, 1 февраля 2004 - 31 декабря 2016
Соавторы:
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Александров А.Ф.
,
Неклюдова П.А.
,
Рухадзе А.А.
,
Петров А.К.
,
Савинов В.П.
,
Никонов А.М.
,
Бугров Г.Э.
,
Гоморев М.А.
,
Керимова И.Ф.
,
Плаксин В.Ю.
,
Айрапетов А.А.
показать полностью...
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Чжао Ч.
,
Павлов Г.Я.
,
Тараканов В.П.
,
Задириев И.И.
,
Якунин В.Г.
,
Козлов Г.П.
,
Zhao C.
,
Стрелецкий О.А.
,
Heon-Ju L.
,
Sergeenko V.Y.
,
Tarakanov V.P.
,
Иваненко И.П.
,
Павлова Г.А.
,
Тимофеев И.Б.
,
Хвостов В.В.
,
Condranin S.G.
,
Mok Y.S.
,
Muzafar S.
,
RUKHADZE A.
,
RUKHADZE A.
,
Yang S.
,
Айрапетов А.А.
,
Александров А.А.
,
Бугрова А.Е.
,
Вавулов О.Ю.
,
Двинин С.А.
,
Ким В.П.
,
Ковалевский В.Л.
,
Козлов В.В.
,
Куликов С.В.
,
Максимов И.С.
,
Одиноков В.В.
,
Одиноков В.В.
,
Сергиенко В.Ю.
,
Сологуб В.А.
,
Сологуб В.А.
,
Турковская А.В.
,
Челапкин Д.Г.
,
Юрьев П.А.
57 статей
,
28 докладов на конференциях
,
47 тезисов докладов
,
9 НИР
,
1 патент
,
7 научных отчётов
,
1 диссертация
,
4 дипломные работы
,
1 учебный курс
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 83, Scopus: 94
IstinaResearcherID (IRID): 2352617
Деятельность
Статьи в журналах
2018
Plasma Parameters in the Reactor with Simultaneous Magnetron Discharge and Inductive Radio-Frequency Discharge in the Presence of External Magnetic Field
Aleksandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kral’kina E.A.
,
Neklyudova P.A.
,
Nikonov A.M.
,
Pavlov V.B.
,
Airapetov A.A.
,
Odinokov V.V.
,
Pavlov G.Ya
,
Sologub V.A.
в журнале
Journal of Communications Technology and Electronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 63, № 4, с. 374-380
DOI
2018
RF power absorption by plasma of low pressure low power inductive discharge located in the external magnetic field
Kralkina E.A.
,
Rukhadze A.A.
,
Nekliudova P.A.
,
Pavlov V.B.
,
Petrov A.K.
,
Vavilin K.V.
в журнале
AIP advances
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 8, с. 035217-035217
DOI
2018
Параметры плазмы в реакторе, совмещающем магнетронный разряд и индуктивный высокочастотный разряд во внешнем магнитном поле
Александров А.Ф.
,
Петров А.К.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов Г.Я.
в журнале
Радиотехника и электроника
, издательство
Наука
(М.)
, том 63, № 4, с. 364-371
2017
Features of RF low-pressure discharge with inductive and capacitive channels
Kralkina Elena
,
Nekludova Polina
,
Pavlov Vladimir
,
Petrov Alexander K.
,
Vavilin Konstantine
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 26, № 5, с. 055006
DOI
2016
Hybrid plasma system for magnetron deposition of coatings with ion assistance
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Nekludova P.A.
,
Petrov A.K.
,
Nikonov A.M.
,
Pavlov V.B.
,
Airapetov A.A.
,
Odinokov V.V.
,
Pavlov G.Ya
,
Sologub V.A.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 669, № 012033
DOI
2016
Influence of external conditions on physical processes and plasma parameters in a model of a high-frequency hybrid plasma system
Aleksandrov A.F.
,
Petrov A.K.
,
Vavilin K.V.
,
Kral’kina E.A.
,
Neklyudova P.A.
,
Nikonov A.M.
,
Pavlov V.B.
,
Airapetov A.A.
,
Odinokov V.V.
,
Pavlov G.Ya
,
Sologub V.A.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 45, № 6, с. 433-441
DOI
2016
Investigation of the helicon discharge plasma parameters in a hybrid RF plasma system
Aleksandrov A.F.
,
Petrov A.K.
,
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Neklyudova P.A.
,
Nikonov A.M.
,
Pavlov V.B.
,
Ayrapetov A.A.
,
Odinokov V.V.
,
Sologub V.A.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 42, № 3, с. 290-292
DOI
2016
RF power absorption by plasma of a low-pressure inductive discharge
Kralkina E.A.
,
Rukhadze A.A.
,
Pavlov V.B.
,
Vavilin K.V.
,
Nekliudova P.A.
,
Petrov A.K.
,
Alexandrov A.F.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 25, № 1, с. 015016
DOI
2016
Влияние внешней цепи на параметры ионного потока, получаемого при помощи емкостного ВЧ разряда в радиальном магнитном поле
Задириев И.И.
,
Рухадзе А.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Вавилин К.В.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 4, с. 39-42
2016
Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы в макете ВЧ гибридной плазменной системы
Александров А.Ф.
,
Петров А.К.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов Г.Я.
в журнале
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. Физика плазмы
, том 45, № 6, с. 471-479
DOI
2016
Влияние плазмы геликонного разряда на структуру тонких пленок при магнетронном распылении
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
в журнале
Вакуумная техника и технология
, № №1
2016
Геликонный источник как элемент гибридной плазменной системы в установках для нанесения тонкопленочных покрытий с управляемой наноструктурой
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
в журнале
Наноиндустрия
, издательство
АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
(Москва)
, том 2, № 64, с. 74-86
2016
Математическое моделирование емкостного ВЧ разряда низкого давления, помещенного во внешнее радиальное магнитное поле,посредством программы KARAT
Задириев И.И.
,
Рухадзе А.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Павлов В.Б.
,
Тараканов В.П.
в журнале
Журнал технической физики
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 86, № 11, с. 1-5
2016
Математическое моделирование емкостного ВЧ разряда низкого давления, помещенного во внешнее радиальное поле, посредством программы KARAT
Задириев И.И.
,
Рухадзе А.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Вавилин К.В.
,
Тараканов В.П.
в журнале
Инженерная физика
, № 2, с. 59-65
2015
Plasma parameters in a dual-camera low-power inductive RF discharge with an external magnetic field
Petrov A.K.
,
Vavilin K.V.
,
Kozlov G.P.
,
Kralkina E.A.
,
Nekliudova P.A.
,
Nikonov A.M.
,
Pavlov V.B.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 70, № 6, с. 527-535
DOI
2015
Исследование параметров плазмы «геликонного» разряда в макете ВЧ гибридной плазменной системы
Александров А.Ф.
,
Петров А.К.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов Г.Я.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 3, с. 25-28
2015
Математическое моделирование индуктивного ВЧ-разряда, помещенного во внешнее магнитное поле, посредством программы КАРАТ
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Тараканов В.П.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 5, с. 44-47
2015
О возможности использования емкостного ВЧ разряда в источниках плазмы с замкнутым дрейфом электронов
Задириев И.И.
,
Рухадзе А.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Вавилин К.В.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 6, с. 57-60
2015
ПОГЛОЩЕНИЯ ВЧ МОЩНОСТИ ПЛАЗМОЙ ИНДУКТИВНОГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
Александров A.Ф.
,
Кралькина Е.A.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Рухадзе A.A.
,
Вавилин К.В.
в журнале
Инженерная физика
, № 11
2015
Параметры плазмы в ВЧ индуктивном двухкамерном источнике малой мощности при наличие внешнего магнитного поля
Петров А.К.
,
Вавилин К.В.
,
Козлов Г.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 6, с. 98-106
2014
Влияние эффекта Рамзауэра на частоту упругих столкновений в плазме индуктивного ВЧ разряда в инертных газах
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Вавилин К.В.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 1, с. 84-87
2014
Исследование параметров плазмы индуктивного ВЧ источника плазмы диаметром 46 см. Часть II. Математическое моделирование параметров плазмы индуктивного и гибридного ВЧ-разрядов
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 1, с. 9-11
2014
Радиальная неоднородность параметров плазмы в индуктивном ВЧ разряде низкого давления
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Вавилин К.В.
,
Тараканов В.П.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 1, с. 79-83
2013
Исследование параметров плазмы индуктивного ВЧ-источника плазмы диаметром 46 см. Часть I. Параметры плазмы в области скин-слоя
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 5, с. 34-37
2013
Математическое моделирование индуктивного ВЧ-разряда низкого давления с помощью программы KARAT
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Тараканов В.П.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 5, с. 38 -41
2013
Простая и эффективная антенна для генерации плазмы в установках травления наноструктур
Киреев В.Ю., Князев С.А.,
Челапкин Д.Г.
,
Вавилин К.В.
,
Двинин С.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
в журнале
Научно-проиводственный журнал "Нанотехнологии Экология Производство"
, № 6(25), с. 20-21
2012
Properties of carbon films with high conductivity anisotropy
Khvostov V.V.
,
Streletskiy O.A.
,
Yakunin V.V.
, Ivanenko I.P.,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 67, № 1, с. 71-76
DOI
2012
Влияние внешних параметров на особенности высокочастотного гибридного разряда низкого давления
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 1, с. 97-100
2012
Свойства углеродных пленок с высокой анизотропией проводимости
Хвостов В.В.,
Стрелецкий О.А.
,
Иваненко И.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № № 1, с. 78-82
2012
Экспериментальное изучение параметров плазмы гибридного ВЧ-разряда низкого давления
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 1, с. 101-105
2011
Изучение закономерностей энерговклада в гибридный ВЧ-разряд низкого давления
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
в журнале
Вестник Казанского технологического университета
, том 14, № 13, с. 7-11
2010
Experimental Study of Patterns of Energy Input into Hybrid Low Pressure Discharge for Varying RF Generator Power and Argon Pressure
Alexandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kral'kina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Rukhadze A.A.
,
Savinov V.P.
, Zhao Chen,
Yakunin V.G.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 65, № 4, с. 311-316
DOI
2010
The inductive channel effect on the parameters of the space-charge electrode sheaths in a hybrid RF discharge
Alexandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 65, № 1, с. 43-45
DOI
2007
Properties of a low-pressure inductive RF discharge I: Experiment
Aleksandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kral'kina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Rukhadze A.A.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 33, № 9, с. 733-745
DOI
2007
The frequency effect on atmospheric pressure RF discharge surface modification
Alexandrov A.F.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Savinov V.P.
,
Sergeenko V.Yu
, Timofeev I.B.,
Bugrov G.E.
,
Vavilin K.V.
,
Plaksin V.Yu
,
Mok Young Son
, Lee Heon-Ju
в журнале
Journal of Ceramic Processing Research
, издательство
Hanyang University Ceramic
(Korea, Republic of)
, том 8, № 1, с. 64-69
2006
Исследование индуктивного ВЧ разряда как самосогласованной системы
Александров А.Ф.
,
Бугров Г.Э.
,
Вавилин К.В.
,
Керимова И.Ф.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Плаксин В.Ю.
,
Рухадзе А.А.
,
Савинов В.П.
в журнале
Прикладная физика и математика
, издательство
Общество с ограниченной ответственностью Издательство Научтехлитиздат
(Москва)
, № 1, с. 36-42
2006
Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. IV. Результаты исследования эквивалентного сопротивления индуктивного ВЧ разряда низкого давления без магнитного поля. Прикладная физика
Александров А.Ф.
, Бугров Г.Э., Вавилин К.В., Керимова И.Ф.,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
, Плаксин В.Ю.,
Рухадзе А.А.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, том 2, с. 41-46
2006
Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. V. Результаты исследования эквивалентного сопротивления индуктивного ВЧ разряда низкого давления при наличии внешнего магнитного поля. Прикладная физика
Александров А.Ф.
, Бугров Г.Э., Вавилин К.В.,
Керимова И.Ф.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
, Плаксин В.Ю.,
Рухадзе А.А.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, том 4, с. 54-59
2006
Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. VI. Математическое моделирование индуктивного ВЧ разряда (самосгласованная модель). Прикладная физика
Александров А.Ф.
, Бугров Г.Э., Вавилин К.В., Керимова И.Ф.,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
, Плаксин В.Ю.,
Рухадзе А.А.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, том 5, с. 33-38
2006
Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. VII. Математическое моделирование индуктивного ВЧ разряда с емкостной компонентой (самосогласованная модель). Прикладная физика
Александров А.Ф.
, Бугров Г.Э., Вавилин К.В., Керимова И.Ф.,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
, Плаксин В.Ю.,
Рухадзе А.А.
,
Савинов В.П.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, том 5, с. 39-46
2005
Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. I. Особенности, наблюдавшиеся при экспериментальном исследовании индуктивного ВЧ разряда, помещенного во внешнее магнитное поле
Александров А.Ф.
,
Бугров Г.Э.
,
Вавилин К.В.
,
Керимова И.Ф.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Плаксин В.Ю.
,
Рухадзе А.А.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 4, с. 70-74
2005
Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. I. Особенности, наблюдавшиеся при экспериментальном исследовании индуктивного ВЧ разряда, помещенного во внешнее магнитное поле
Александров А.Ф.
,
Бугров Г.Э.
,
Вавилин К.В.
,
Керимова И.Ф.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Плаксин В.Ю.
,
Рухадзе А.А.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, том 4, № 70, с. 74-74
2005
Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. II. Исследование параметров плазмы и эффективности поглощения ВЧ мощности плазмой индуктивного ВЧ разряда низкого давления
Александров А.Ф.
,
Бугров Г.Э.
,
Вавилин К.В.
,
Керимова И.Ф.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Плаксин В.Ю.
,
Рухадзе А.А.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 5, с. 72-78
2005
Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. II. Исследование параметров плазмы и эффективности поглощения ВЧ мощности плазмой индуктивного ВЧ разряда низкого давления
Александров А.Ф.
,
Бугров Г.Э.
,
Вавилин К.В.
,
Керимова И.Ф.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Плаксин В.Ю.
,
Рухадзе А.А.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, том 5, с. 72-78
2005
Физические принципы разработки ВЧ-индуктивных источников плазмы низкого давления
Александров А.Ф.
,
Бугров Г.Э.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Плаксин В.Ю.
,
Рухадзе А.А.
в журнале
Наукоемкие технологии
, издательство
Издательство "Радиотехника"
(Москва)
, том 6, № 1, с. 5
2004
Self-consistent model of an inductive RF plasma source in an external magnetic field
Aleksandrov A.F.
,
Bugrov G.E.
,
Vavilin K.V.
,
Kerimova I.F.
, Kondranin S.G.,
Kral'kina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Plaksin V.Y.
,
Rukhadze A.A.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 30, № 5, с. 398-412
DOI
2003
Optimisation of cold cathode ion source model
Bugrov G.E.
,
Condranin S.G.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Savinov V.P.
, Vavilin K.V.,
Heon-Ju Lee
в журнале
Current Applied Physics
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 3, № 6, с. 485-489
DOI
2003
Self-consistent model of an RF inductive plasma source located in an external magnetic field
Aleksandrov A.F.
,
Bugrov G.E.
,
Kerimova I.F.
, Kondranin S.G.,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Plaksin V.Y.
,
Rukhadze A.A.
,
Vavilin K.V.
в журнале
Journal of Russian Laser Research
, издательство
Kluwer Academic/Plenum Publishers
(United States)
, том 24, № 4, с. 301-321
DOI
Статьи в сборниках
2019
Physical Processes and Plasma Parameters in a Radio-Frequency Hybrid Plasma System for Thin-Film Production with Ion Assistance
Kralkina E.
,
Alexandrov A.F.
,
Nekludova P.
,
Nikonov A.
,
Pavlov V.B.
,
Vavilin K.
, Odinokov V., Sologub V.
в сборнике
Micromachining
, место издания
Intech Open London
, с. 1-18
DOI
2009
Physical model of RF plasma source located in the external magnetic field
Alexandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Rukhadze A.A.
,
Savinov V.P.
в сборнике
Contr. Papers of VI Intern. Conf. "Plasma Physics and Plasma Technology"
, место издания
Minsk
, том 1, с. 110-113
2009
Physical model of RF plasma source located in the external magnetic field
Alexandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Rukhadze A.A.
,
Savinov V.P.
,
Zhao C.
в сборнике
Contr. Papers of VI Intern. Conf. "Plasma Physics and Plasma Technology"
, место издания
Minsk
, том 1, с. 110-113
2009
Study of the inductive RF discharge with the capacitive component
Alexandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Rukhadze A.A.
,
Savinov V.P.
,
Zhao C.
в сборнике
Contr. Papers of VI Intern. Conf. "Plasma Physics and Plasma Technology"
, место издания
Minsk
, том 1, с. 106-109
2008
Supplying the discharge of Hall-effect thruster with RF power : A novel approach to enhance thruster performances
Alexandrov A.F.
,
Bugrova A.I.
,
Kim V.P.
,
Kralkina E.A.
,
Muzafar S.
,
Pavlov V.B.
,
Savinov V.P.
в сборнике
Contr. Papers of Intern. Conf. "Space propulsion - 2008"
, место издания
Heraclion, Greece
, с. 28-34
2006
Influence of the capacitive component on the parameters of the low pressure RF inductive discharge
Alexandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kerimova I.F.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Rukhadze A.A.
,
Savinov V.P.
в сборнике
Contr. Papers of V Intern. Conf. "Plasma Physics and Plasma Technology"
, место издания
Minsk
, том 1, с. 7-10
2006
Study of the hysteresis of the RF inductive discharge plasma density dependence on the RF generator power
Alexandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kerimova I.F.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Rukhadze A.A.
,
Savinov V.P.
в сборнике
Contr. Papers of V Intern. Conf. "Plasma Physics and Plasma Technology"
, место издания
Minsk
, том 1, с. 70-73
2004
RF Discharge at Atmospheric Pressure and the Effects on Material Surface Property
Alexandrov A.F.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Savinov V.P.
,
Sergeenko V.Yu
,
Timofeev I.B.
,
Bugrov G.E.
,
Vavilin K.V.
,
Plaxin V.Yu
,
Yong Son Mok
,
Heon-Ju Lee
в сборнике
Contr. Papers of Intern. Sympos. on pulsed Power and Plasma Application
, место издания
KERI, Chang-Won Korea
, с. 197-202
2003
Comparative analysis of different surface modifications methods
Alexandrov A.F.
,
Bugrov G.E.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Plaxin V.Yu
,
Savinov V.P.
,
Vavilin K.V.
в сборнике
Contr. Papers of IV Intern. Conf. "Plasma Physics and Plasma Technology"
, место издания
Minsk
, том 2, с. 530-533
Доклады на конференциях
2016
ВЛИЯНИЕ ПЛАЗМЫ ГЕЛИКОННОГО РАЗРЯДА НА СТРУКТУРУ ТОНКИХ ПЛЁНОК ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ
(Устный)
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Сологуб В.А.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Павлов В.Б.
23-я Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием «ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ – 2016»
, Россия, 7-9 июня 2016
2016
Гибридная плазменная система с источником геликонного разряда
(Устный)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
XI международная научно-техническая конференция «Вакуумная техника, материалы и технология»
, Москва, КВЦ «Сокольники», Россия, 12-14 апреля 2016
2016
Влияние внешних параметров на характеристики плазмы в гибридной плазменной системе, основанной на магнетронном и геликонном разрядах
(Стендовый)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов Г.Я.
,
Петров А.К.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов В.Б.
XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 8-12 февраля 2016
2016
Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы в двухкамерном ВЧ индуктивном источнике плазмы с внешним магнитным полем
(Стендовый)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Куликов С.В.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Вавулов О.Ю.
,
Никонов А.М.
XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 8-12 февраля 2016
2016
Математическое моделирование индуктивного ВЧ разряда, помещенного во внешнее магнитное поле с помощью программы КАРАТ
(Стендовый)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Тараканов В.П.
XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 8-12 февраля 2016
2016
Энергетическое распределение потоков ионов, полученных при помощи емкостного ВЧ разряда в радиальном магнитном поле
(Стендовый)
Авторы:
Задириев И.И.
,
Рухадзе А.А.
,
Павлов В.Б.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 8-12 февраля 2016
2015
ВЧ разряд при атмосферном давлении и возможности его использования для поверхностной модификации материалов
(Стендовый)
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Петров А.К.
,
Неклюдова П.А.
,
Вавилин К.В.
,
Павлов В.Б.
VII Всероссийская (с международным участием) конференция "Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий"
, Россия, 4-7 ноября 2015
2015
Гибридная плазменная система для магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием
(Стендовый)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Никонов А.М.
VII Всероссийская (с международным участием) конференция "Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий"
, Россия, 4-7 ноября 2015
2015
Технология нанесения функциональных гидрофильных пленочных покрытий
(Стендовый)
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Павлов В.Б.
VII Всероссийская (с международным участием) конференция "Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий"
, Россия, 4-7 ноября 2015
2015
ВЛИЯНИЕ ВНЕШНИХ УСЛОВИЙ НА РАДИАЛЬНОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ AR И СМЕСИ AR/O2 В ВЧ ИНДУКТИВНОМ ИСТОЧНИКЕ ПЛАЗМЫ ДИАМЕТРОМ 46 СМ
(Стендовый)
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Павлов В.Б.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Козлов Г.П.
XLII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 9-13 февраля 2015
2014
Влияние емкостной ВЧ составляющей на функцию распределения ионов на выходе «геликонного» источника
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
XLI Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 10 – 14 февраля 2014 г.
, г. Звенигород, 2014
2014
Механизмы управления рабочими характеристиками ВЧ технологических источников плазмы путем изменения внешних параметров разряда
(Стендовый)
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
XLI Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 10 – 14 февраля 2014 г.
, г. Звенигород, 2014
2014
Пространственное распределение параметров плазмы в индуктивном источнике плазмы с переменным радиусом
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Козлов Г.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Тараканов В.П.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Никонов А.М.
Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2014 и международная школа молодых ученых и специалистов «Плазменные технологии в исследовании и получении новых материалов
, Казань, 2014
2013
HELICON ION SOURCE MODIFICATION
Авторы:
Kralkina E.A.
,
Petrov A.K.
,
Pavlov V.B.
,
Vavilin K.V.
,
Nekhludova P.A.
4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, Presqu'île de Giens France, Франция, 2013
2013
Low pressure RF hybrid discharge
(Стендовый)
Авторы:
Nekhludova P.A.
,
Petrov A.K.
,
Zhao Ch
,
Alexandrov A.F.
,
Vaviin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Rukhadze A.A.
,
Savinov V.P.
4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, Presqu'île de Giens France, Франция, 2013
2013
ЗАВИСИМОСТЬ ЭНЕРГИИ ИОНОВ ОТ ПАРАМЕТРОВ РАЗРЯДА В ВЧ «ГЕЛИКОННОМ» ДВИГАТЕЛЕ
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Кралькина Е.А.
,
Петров А.К.
,
Павлов В.Б.
XL Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, 2013
2013
МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНДУКТИВНОГО ВЧ РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОМОШЬЮ ПРОГРАММЫ KARAT
(Стендовый)
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Тараканов В.П.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Кралькина Е.А.
XL Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, 2013
2013
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ ВЧ ИНДУКТИВНОГО ИСТОЧНИКА ПЛАЗМЫ ДИАМЕТРОМ 46СМ
(Стендовый)
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Козлов Г.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
XL Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, 2013
2013
Low pressure RF hybrid discharge
(Стендовый)
Авторы:
Alexandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Zhao Ch
,
Savinov V.P.
,
Nekhludova P.A.
,
Petrov A.K.
,
Rukhadze A.A.
4th Workshop RF Discharges Prescu'ile de Giens, France
, de Giens, Франция, 23-27 июня 2013
2013
Влияние эффекта Рамзауэра на частоту упругих стокновений в плазме индуктивного разряда в инертных газах
(Устный)
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
Ломоносовские чтения - 2013. Секция физики
, Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова, Россия, 15-19 апреля 2013
2013
Радиальная неоднородность параметров плазмы в индуктивном ВЧ разряде низкого давления
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
Ломоносовские чтения - 2013. Секция физики
, Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова, Россия, 15-19 апреля 2013
2012
Изучение геликонного двигателя с двойным слоем
Авторы:
Петров А.К.
,
Павлов В.Б.
11-ая международная конференция "Авиация и космонавтика - 2012"
, Москва, Россия, 2012
2012
САМОСОГЛАСОВАННАЯ МОДЕЛЬ ГИБРИДНОГО ВЧ РАЗРЯДА Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Чжао.Ч.
(Стендовый)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Чжао Ч.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Кралькина Е.А.
XXXIX Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 6 – 10 февраля 2012 г.
, Звенигород, 2012
2012
СРАВНЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИНДУКТИВНОГО И ГИБРИДНОГО ВЧ РАЗРЯДОВ
(Стендовый)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
XXXIX Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 6 – 10 февраля 2012 г.
, Звенигород, 2012
2012
Свойства углеродных пленок, полученных распылением графитовой мишени пучком ускоренных ионов аргона.
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Хвостов В.В.
,
Стрелецкий О.А.
,
Якунин В.В.
,
Иваненко И.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
XXXIX Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 6 – 10 февраля 2012 г.
, Звенигород, 2012
2011
Влияние внешней цепи разряда на энерговклад в гибридный ВЧ разряд низкого давления
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Рухадзе А.А.
,
Савинов В.П.
,
Чжао Ч.
,
Якунин В.Г.
,
Вавилин К.В.
Тезисы докладов XXXVIII Междунар. (Звенигородской) конф. по физике плазмы и УТС
, Звенигород, 2011
2011
Изучение условий ускорения ионов в геликонном двигателе
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
10-ая международная конференция "Авиация и космонавтика - 2011"
, Москва, Россия, 2011
2011
ЗАКОНОМЕРНОСТИ ЭНЕРГОВКЛАДА В ИНДУКТИВНЫЙ ВЧ РАЗРЯД ПРИ ПЕРЕХОДЕ ОТ НЕЛОКАЛЬНОГО К ЛОКАЛЬНОМУ РЕЖИМУ ГОРЕНИЯ
(Стендовый)
Авторы:
Чжао Ч.
,
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Турковская А.В.
XXXVIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 14-18 февраля 2011
Тезисы докладов
2016
ВЧ РАЗРЯД ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ И ВОЗМОЖНОСТИ ЕГО ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ДЛЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ МОДИФИКАЦИИ МАТЕРИАЛОВ
Кралькина Е.А.
,
Петров А.К.
,
Павлов В.Б.
,
Вавилин К.В.
,
Неклюдова П.А.
в сборнике
Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. VII Всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция: сборник статей
, место издания
Отечество Казань
, тезисы, с. 175-178
2016
Влияние внешних параметров на характеристики плазмы в гибридной плазменной системе, основанной на магнетронном и геликонном разрядахдоклад на конференции XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов Г.Я.
в сборнике
Сборник тезисов докладов. XLIII Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу
, место издания
ЗАО НТЦ изд-во «ПЛАЗМАИОФАН» Москва
, тезисы, с. 347-347
2016
Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы в двухкамерном ВЧ индуктивном источнике плазмы с внешним магнитным полем.Сборник тезисов докладов XLIII Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и УТС, стр. 332
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Вавулов О.Ю.
,
Куликов С.В.
в сборнике
Сборник тезисов докладов. XLIII Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу
, место издания
ЗАО НТЦ изд-во «ПЛАЗМАИОФАН» Москва
, тезисы, с. 333-333
2016
ГИБРИДНАЯ ПЛАЗМЕННАЯ СИСТЕМА ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ С ИОННЫМ АССИСТИРОВАНИЕМ //
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
в сборнике
Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. VII Всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция: сборник статей
, место издания
Отечество Казань
, тезисы, с. 19-22
2016
Математическое моделирование индуктивного ВЧ разряда, помещенного во внешнее магнитное поле с помощью программы КАРАТ доклад на конференци XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Тараканов В.П.
в сборнике
Сборник тезисов докладов. XLIII Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу
, место издания
ЗАО НТЦ изд-во «ПЛАЗМАИОФАН» Москва
, тезисы, с. 333
2016
Энергетичесие распределения потоков ионов, полученных при помощи емкостного ВЧ разряда в радиальном магнитном поле. XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС 8-12 февраля 2016, Сборник тезисов докладов, стр. 298
Задириев И.И.
,
Рухадзе А.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
Сборник тезисов докладов. XLIII Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу
, место издания
ЗАО НТЦ изд-во «ПЛАЗМАИОФАН» Москва
, тезисы, с. 298-298
2015
Влияние внешних условий на радиальное распределение параметров плазмы Ar и смеси Ar/O2 в ВЧ идуктивном источнике плазмы
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Козлов Г.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
XLII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 9 – 13 февраля 2015 г
, место издания
ПЛАЗМАИОФАН г. Москва
, тезисы, с. 360-360
2014
Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2014
, место издания
Казань
, том 2, тезисы, с. 370-374
2014
Влияние емкостной ВЧ составляющей на функцию распределения ионов на выходе «геликонного» источника // XLI Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу
Кралькина Е.А.
,
Петров А.К.
,
Павлов В.Б.
,
Вавилин К.В.
в сборнике
Сборник тезисов докладов – Звенигород
, издательство
Наука
(М.)
, тезисы, с. 303-303
2014
Математическоемоделирование емкостного ВЧ разряда низкого давления, помещенного во внешнее радиальное магнитное поле, посредством программы KARAT
Вавилин К.В.
,
Задириев И.И.
,
Павлов В.Б.
,
Тараканов В.П.
в сборнике
Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2014
, место издания
Казань
, том 2, тезисы, с. 374-378
2014
Механизмы управления рабочими характеристиками ВЧ технологических источников плазмы путем изменения внешних параметров разряда
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
Тезисы докладов XLI Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу
, место издания
ЗАО НТЦ "ПЛАЗМАИОФАН" Москва
, тезисы, с. 278-278
2014
Пространственное распределение параметров плазмы в индуктивном источнике плазмы с переменным радиусом
Вавилин К.В.
,
Козлов Г.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Тараканов В.П.
в сборнике
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы" ФНТП-2014 Сборник Материалов
, место издания
Издательство КНИТУ Казань
, том 2, тезисы, с. 131-135
2013
Helicon Ion Source Modification
Petrov A.K.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Vavilin K.V.
,
Nekludova P.A.
в сборнике
Book of Abstracts 4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, место издания
France
, тезисы, с. 35-35
2013
Low Pressure rf hybrid discharge
Alexandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Savinov V.P.
,
Rukhadze A.A.
,
Nekludova P.A.
,
Petrov A.K.
,
Zhao Ch
в сборнике
Book of Abstracts 4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, место издания
France
, тезисы, с. 22-22
2013
Plasma parameters & rf power coupling mechanism to the low pressure rf inductive discharge
Alexandrov A.F.
,
Kralkina E.A.
,
Nekludova P.A.
,
Pavlov V.B.
,
Petrov A.K.
,
Rukhadze A.A.
,
Vavilin K.V.
в сборнике
Book of Abstracts 4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, место издания
France
, тезисы, с. 23-23
2013
The self-consistent character of the rf inductive discharge
Alexandrov A.F.
,
Kralkina E.A.
,
Nekludova P.A.
,
Pavlov V.B.
,
Petrov A.K.
,
Rukhadze A.A.
,
Vavilin K.V.
в сборнике
Book of Abstracts 4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, место издания
France
, тезисы, с. 24-24
2013
Влияние эффекта Рамзауэра на частоту упругих столкновений в плазме индуктивного разряда в инертных газах
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
ЛОМОНОСОВСКИЕ ЧТЕНИЯ - 2013. СЕКЦИЯ ФИЗИКИ. Сборник тезисов докладов
, место издания
М., Физический факультет МГУ
, тезисы, с. 48-51
2013
Зависимость энергии ионов от параметров разряда в ВЧ «геликонном» двигателе
Александров А.Ф.
,
Кралькина Е.А.
,
Петров А.К.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
XL Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС
, место издания
ЗАО НТЦ "ПЛАЗМАИОФАН" Москва
, тезисы, с. 256-256
2013
Математическое моделирование индуктивного ВЧ разряда низкого давления с помощью программы KARAT
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Тараканов В.П.
в сборнике
Тезисы докладов XL международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС, г. Звенигород, 11-15 февраля 2013г
, место издания
ЗАО НТЦ "ПЛАЗМАИОФАН" Москва
, тезисы, с. 254-254
2013
Радиальная неоднородность параметров плазмы в индуктивном ВЧ разряде низкого давления
Кральника Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
ЛОМОНОСОВСКИЕ ЧТЕНИЯ - 2013. СЕКЦИЯ ФИЗИКИ. Сборник тезисов докладов
, место издания
М., Физический факультет МГУ
, тезисы, с. 45-48
2013
Экспериментальное исследование параметров плазмы ВЧ индуктивного источника плазмы диаметром 46 см
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Козлов Г.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
Тезисы докладов XL международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС, г. Звенигород, 11-15 февраля 2013г
, место издания
ЗАО НТЦ "ПЛАЗМАИОФАН" Москва
, тезисы, с. 255-255
2012
Advanced Ion and Plasma Sources for Materials Surface Engineering
Alexandrov A.F.
,
Kralkina E.A.
,
Nekludova P.A.
,
Pavlov V.B.
,
Petrov A.K.
,
Vavilin K.V.
в сборнике
Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Application and Properties (Proc. NAP 1)
, том 1, тезисы, с. 9-9
2012
Advanced sources for plasma and ion beam surface engineering
Alexandrov A.F.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Petrov A.K.
,
Vavilin K.V.
в сборнике
Proceedings of 11th APCPST and 25thSPSM
, тезисы, с. 146-146
2012
Изучение геликонного двигателя с двойным слоем
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
в сборнике
тезисы докладов 11-ой международной конференции «Авиация и космонавтика - 2012»,
, место издания
Мастерская печати Санкт-Петербург, Россия
, тезисы
2012
О возможности получения группы ускоренных ионов на выходе из высокочастотного «геликонного» разряда
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
в сборнике
труды XXXIX Международной конференции по физике плазмы и УТС 2012
, тезисы
2012
Параметры плазмы индуктивного ВЧ реактора диаметром 46см
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
, Тараканов В.П.
в сборнике
тезисы докладов 11-ой международной конференции «Авиация и космонавтика - 2012»,
, место издания
Мастерская печати Санкт-Петербург, Россия
, тезисы, с. 206-207
2012
Самосогласованная модель гибридного ВЧ разряда
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
в сборнике
труды XXXIX Международной конференции по физике плазмы и УТС 2012
, тезисы
2012
Свойства углеродных пленок, полученных распылением графитовой мишени пучком ускоренных ионов аргона
Александров А.Ф.
,
Хвостов В.В.
,
Якунин В.Г.
,
Стрелецкий О.А.
,
Иваненко И.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
труды XXXIX Международной конференции по физике плазмы и УТС 2012
, тезисы
2012
Сравнение параметров индуктивного и гибридного ВЧ разрядов
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
в сборнике
труды XXXIX Международной конференции по физике плазмы и УТС 2012
, тезисы
2011
Влияние внешней цепи разряда на энерговклад в гибридный ВЧ разряд низкого давления
Александров А.Ф.
, Вавилин К.В.,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Рухадзе А.А.
,
Савинов В.П.
,
Чжао Ч.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
XXXVIII Международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС
, серия
Тезисы докладов
, место издания
РАН Москва
, тезисы
2011
Закономерности энерговклада в индуктивный ВЧ разряд при переходе от нелокального к локальному режиму горения
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Турковская А.В.
,
Чжао Ч.
в сборнике
труды XXXVIII Международной конференции по физике плазмы и УТС 2011
, тезисы, с. 353-353
2011
Изучение закономерностей энерговклада в гибридный ВЧ разряд низкого давления
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
в сборнике
материалы Международной конференции "физика высокочастотных разрядов" (ICPRFD 2011)
, место издания
издательство Казанского государственного технологического университета Казань
, тезисы, с. 87-89
2011
Изучение закономерностей энерговклада в индуктивный ВЧ разряд при переходе от нелокального к локальному режиму ввода ВЧ мощности
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
материалы Международной конференции "физика высокочастотных разрядов" (ICPRFD 2011)
, место издания
издательство Казанского государственного технологического университета Казань
, тезисы, с. 166-168
2011
Изучение условий ускорения ионов в геликонном двигателе
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
в сборнике
тезисы докладов 10-ой международной конференции «Авиация и космонавтика - 2011»
, место издания
СПб.: Мастерская печати
, тезисы, с. 170-171
2011
Разработка электроракетного двигателя на основе гибридного высокочастотного разряда
Павлов В.Б.
,
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Задириев И.И.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
в сборнике
сборник трудов научно-практической конференции «Фундаментальные и прикладные аспекты инновационных проектов Физического факультета МГУ»
, место издания
Типография МГУ Москва
, тезисы, с. 92-93
2010
Математическое моделирование разряда в канале холловского плазменного двигателя
Александров А.Ф.
, Вавилин К.В.,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Рухадзе А.А.
,
Савинов В.П.
,
Тараканов В.П.
в сборнике
Тез. докл. 37-Международной (Звенигородкой) конф. по физике плазмы и УТС. Москва
, тезисы, с. 373-373
2010
Экспериментальное изучение закономерностей энеговклада в гибридный ВЧ разряд низкого давления
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Рухадзе А.А.
,
Савинов В.П.
,
Чжао Ч.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Тез.докл. XXXVII Межд. (Звенигородской) конф. по физике плазмы и УТС
, место издания
Звенигород
, тезисы, с. 372-372
2009
ВЧ разряд при атмосферном давлении и возможности его использования для поверхностной модификации материалов
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Савинов В.П.
в сборнике
Тезисы Научно-практической конф. "Фундаментальные и прикладные аспекты инновационных проектов физического факультета МГУ"
, место издания
Физический факультет МГУ Москва
, тезисы, с. 87-88
2009
ВЧ разряд при атмосферном давлении и возможности его использования для поверхностной модификации материалов
Вавилин К.В.,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Савинов В.П.
в сборнике
Аннотации докладов III Всеросс. молод. школы-семинара с межд. участием "Инновационные аспекты фундам. исслед. по актуальн. пробл. физики"
, место издания
Москва
, тезисы, с. 42-43
2009
Влияние емкостной составляющей электрического поля на параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда низкого давления
Александров А.Ф.
, Вавилин К.В.,
Ковалевский В.Л.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Савинов В.П.
в сборнике
Тез. Докл. V Межд. научно-техн. конф. "Фундаментальные и прикладные проблемы физики"
, место издания
Саранск
, тезисы, с. 199-202
2009
Гистерезис зависимости плотности плазмы индуктивного ВЧ разряда в магнитном поле от ВЧ мощности
Вавилин К.В.,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Рухадзе А.А.
,
Савинов В.П.
в сборнике
Тез. Докл. V Межд. научно-техн. конф. "Фундаментальные и прикладные проблемы физики"
, место издания
Саранск
, тезисы, с. 74-76
2008
Влияние сопротивления антенны на переход индуктивного ВЧ разряда из моды с низкой концентрацией электронов в моду с высокой концентрацией
Вавилин К.В.,
Керимова И.Ф.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Рухадзе А.А.
,
Савинов В.П.
в сборнике
XXXV Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, место издания
РАН Звенигород
, тезисы, с. 331-331
2008
Изучение гибридного ВЧ разряда
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Максимов И.С.
,
Павлов В.Б.
,
Рухадзе А.А.
,
Савинов В.П.
в сборнике
XXXV Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, место издания
РАН Звенигород
, тезисы, с. 333-333
2008
Изучение параметров "полого катода", работающего на высокочастотном газовом разряде
Александров А.Ф.
, Вавилин К.В.,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Савинов В.П.
,
Юрьев П.А.
в сборнике
XXXV Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, место издания
РАН Звенигород
, тезисы, с. 332-332
2007
One more mechanism leading to the gysteresis of the RF inductive discharge transition from low to high density mode
Alexandrov A.F.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Rukhadze A.A.
,
Savinov V.P.
, Vavili K.V.
в сборнике
Proc. of the ICPIG-XXVIII
, место издания
Prague, Czech Republ
, тезисы, с. 240-243
2007
The role of capacitive component in the low pressure RF inductive discharge
Alexandrov A.F.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Rukhadze A.A.
,
Savinov V.P.
в сборнике
Proceedings of the ICPIG - XXVIII
, место издания
Prague, Czech. Republ
, тезисы, с. 239-242
2003
ВЧ разряд при средних и повышенных давлениях, возможности его использования для поверхностной модификации материалов
Александров А.Ф.
,
Бугров Г.Э.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
, Плаксин В.Ю.,
Савинов В.П.
,
Сергеенко В.Ю.
,
Тимофеев И.Б.
,
Вавилин К.В.
в сборнике
Тез. докл. III Межд. симпозиума "Термохимические процессы в плазменной аэродинамике"
, место издания
Санкт-Петербург
, тезисы, с. 315-322
НИРы
1 января 2016 - 31 декабря 2025
Актуальные проблемы физики неравновесной плазмы
Физический факультет
Руководитель:
Кузелев М.В.
Участники НИР:
Александров А.Ф.
,
Беклешова В.Ф.
,
Бурмистрова А.В.
,
Бычков В.Л.
,
Вавилин К.В.
,
Вавилин К.В.
,
Ваулин Д.Н.
,
Двинин С.А.
,
Задириев И.И.
,
Злобин В.В.
,
Калинин А.В.
,
Калинин А.В.
,
Карташов И.Н.
,
Ковалевский В.Л.
,
Колотинский Н.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Красильникова Н.А.
,
Логунов А.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Орликовская Н.Г.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Ружицкий В.И.
,
Свиридкина В.С.
,
Сурконт О.С.
,
Третьяков Н.Е.
,
Черников В.А.
,
Шибков В.М.
1 января 2016 - 31 декабря 2018
Физические особенности гибридного разряда, предназначенного для нанесения функциональных покрытий с ионным ассистированием
Физический факультет
Руководитель:
Александров А.Ф.
Участники НИР:
Вавилин К.В.
,
Задириев И.И.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
15 мая 2015 - 10 декабря 2015
ОКР «Разработка технологий новых материалов и покрытий для задач информационной безопасности, в том числе квантовой информатики»
Физический факультет
Руководитель:
Федянин А.А.
Участники НИР:
Бессонов В.О.
,
Вабищевич П.П.
,
Грунин А.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Любин Е.В.
,
Павлов В.Б.
,
Соболева И.В.
,
Четвертухин А.В.
,
Шарипова М.И.
,
Щербаков М.Р.
27 апреля 2015 - 30 ноября 2016
Отработка методик диагностики и проведение измерений характеристик плазмы геликонного разряда с оптимизацией параметров плазменных источников гибридной плазменной системы
Физический факультет
Руководитель:
Кралькина Е.А.
Участники НИР:
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
27 апреля 2015 - 30 ноября 2016
Отработка методик диагностики и проведение измерений характеристик плазмы геликонного разряда с оптимизацией параметров плазменных источников гибридной плазменной системы
ОАО НИИТМ
Руководитель:
Кралькина Е.А.
Ответственный исполнитель:
Неклюдова П.А.
Участник НИР:
Павлов В.Б.
20 сентября 2014 - 15 декабря 2014
Разработка программ моделирования структуры магнитных полей в плазменной зоне для оптимизации конструкции плазменных источников
Физический факультет
Руководитель:
Двинин С.А.
Участники НИР:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
1 января 2013 - 31 декабря 2015
Физические свойства ВЧ разряда низкого давления во внешнем радиальном магнитном поле
Физический факультет
Руководитель:
Александров А.Ф.
Участники НИР:
Задириев И.И.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
20 ноября 2009 - 5 августа 2011
Исследование высокочастотного разряда низкого давления как рабочей среды плазменных и лучевых нанотехнологий
Кафедра физической электроники
Руководитель:
Карташов И.Н.
Участники НИР:
Кралькина Е.А.
,
Кузелев М.В.
,
Неклюдова П.А.
,
Орликовская Н.Г.
,
Павлов В.Б.
1 января 2001 - 31 декабря 2015
Фундаментальные основы плазменных и лучевых технологий и современных методов исследования в физике
Физический факультет
Руководитель:
Александров А.Ф.
Участники НИР:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
Патенты
2018
Реактор для плазменной обработки полупроводниковых структур
Авторы:
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
,
Одиноков В.В.
,
Бирюков М.Г.
,
Айрапетов А.А.
,
Павлов В.Б.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Петров А.К.
,
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Карпенкова Е.В.
, Гусева Н.Б.
#2670249, 19 октября
Отчеты
2016
ОТРАБОТКА МЕТОДИК ДИАГНОСТИКИ И ПРОВЕДЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАЗМЫ ГЕЛИКОННОГО РАЗРЯДА С ОПТИМИЗАЦИЕЙ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЕННЫХ ИСТОЧНИКОВ ГИБРИДНОЙ ПЛАЗМЕННОЙ СИСТЕМЫ
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
#53/15, 97 с.
2014
Физические свойства ВЧ разряда низкого давления во внешнем радиальном магнитном поле
Авторы:
Александров Андрей Федорович
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Задириев И.И.
,
Кралькина Е.А.
,
Петров А.К.
#13-02-01089 А
2014
Разработка программ моделирования структуры магнитных полей в плазменной зоне для оптимизации конструкции плазменных источников
Авторы:
Двинин С.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
#1249, 129 с.
2014
Фундаментальные основы плазменных и лучевых технологий и современных методов исследования в физике
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
#01200113168
2014
Фундаментальные основы плазменных и лучевых технологий и современных методов исследования в физике
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
#01200113168
2014
Фундаментальные основы плазменных и лучевых технологий и современных методов исследования в физике
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
#01200113168, 4 с.
2014
Фундаментальные основы плазменных и лучевых технологий и современных методов исследования в физике
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Неклюдов П.А.
#01200113168
Диссертация
2005
Поглощение ВЧ мощности плазмой индуктивного разряда, помещенного в магнитное поле
Кандидатская диссертация по специальности 01.04.08 - Физика плазмы (физ.-мат. науки)
Автор:
Павлов В.Б.
, к.ф.-м.н.
Научные руководители:
Кралькина Е.А.
, д.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова,
Александров А.Ф.
, д.ф.-м.н., проф., МГУ имени М.В. Ломоносова
Защищена в совете
Д 501.001.66
при МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет
Руководство дипломными работами
2016
Исследование зондовыми методами режимов работы системы плазменных источников, предназначенных для ионно-стимулированного напыления функциональных покрытий
Научный руководитель:
Павлов В.Б.
Автор: Рябушко Алексей Владимирович (Бакалавр)
2015
Аксиальное распределение параметров плазмы в двухкамерном индуктивном высокочастотном источнике плазмы, помещенном в внешнее магнитное поле
Научный руководитель:
Павлов В.Б.
Автор: Вавулов О. Ю. (Специалист)
2014
Пространственное распределение параметров плазмы в индуктивном источнике плазмы с переменным радиусом
Научный руководитель:
Павлов Владимир Борисович
Автор: Никонов Александр Михайлович (Специалист)
2011
Высокочастотный геликонный двигатель с двойным слоем
Научный руководитель:
Павлов Владимир Борисович
Автор: Петров Александр Кириллович (Специалист)
Авторство учебных курсов
2012
Физика и техника источников плазмы низкого давления
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.