|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
ИССЛЕДОВАНИЕ ДИНАМИКИ ПАРАМЕТРОВ СУБМИКРОСЕКУНДНОЙ ИМПУЛЬСНОЙ ПЛАЗМЫдипломная работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Лопаев Д.В.
- Автор: Батанов Дмитрий Сергеевич
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2022
- Аннотация: Проведено исследование динамики "холодной" (Те < 0.5-1 эВ) плазмы,генерируемой субмикросекундными высоковольными импульсами в аргоне при давлении (50 - 500 мТорр). Методом время-разрешенного свч зонда была измерена динамика плотности плазмы при различных вариациях давления, частоты, длительности импульса, а также зависимости плотности от давления и частоты. В результате был сделан вывод о том, что возможно создать однородную долгоживущую холодную плазму низкого давления, подходящую для индустриального типа плазменных реакторов атомно слоевого травления и осаждения, с плотностью 1е9 - 1е11 cm-3. В дальнейшем необходимо исследование подобной плазмы применительно к промышленной технологии с молекулярными газами.
- Добавил в систему: Лопаев Дмитрий Викторович