Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Способ полирующего травления полупроводниковых пластин диаметром 30-40 мм.
патент
Авторы:
Шупегин М.Л.
,
Шайдуллин Р.Я.
,
Козлов В.В.
Номер:
1604096
Дата публикации патента:
6 июня 1990 г.
Добавил в систему:
Козлов Владимир Валентинович