ИСТИНА

Кузьмин Игорь Юрьевич пользователь

МГУ имени М.В. Ломоносова, Междисциплинарная лаборатория математического моделирования сложных естественных и инженерных систем: превентивное обслуживание и анализ разладок

Соавторы: Babin S., Грачев Е.А., Цыганков В.Ю., Hudek P., Yamabe M., Yamashita H., Ошарин О.В., Butomo V., Ивонин Д.А., Рыбалко В.В., Умарова А.Б., Хумаль Л.А., Шеин Е.В.

23 статьи, 1 доклад на конференции

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 48, Scopus: 46

IstinaResearcherID (IRID): 92568301

Деятельность

• Статьи в журналах

  • 
    • 2006 EBL resist heating error and its correction
    • Sergey Babin, Igor Kuzmin
    • в журнале Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, издательство SPIE, the International Society for Optical Engineering (Bellingham, WA, United States), том 6283, с. 62831Q DOI
  • 
    • 2004 Thermal analysis of diamondlike carbon membrane masks in projection electron-beam lithography
    • Babin S., Butomo V., Kuzmin I.Yu, Yamashita H., Yamabe M.
    • в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, издательство AIP Publishing (United States), том 22, № 6, с. 3082-3086
  • 
    • 2003 Thermal analysis of projection electron beam lithography using complementary mask exposures
    • Babin S., Kuzmin I., Yamashita H., Yamabe M.
    • в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, издательство AIP Publishing (United States), том 21, № 6, с. 2691-2696
  • 
    • 2002 Throughput optimization of electron-beam lithography in photomask fabrication regarding acceptable accuracy of critical dimensions
    • Babin Sergey V., Kuzmin Igor Y.
    • в журнале Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, издательство SPIE, the International Society for Optical Engineering (Bellingham, WA, United States), том 4562, с. 545-551
  • 
    • 2001 Comprehensive simulation of electron-beam lithography processes using PROLITH/3D and TEMPTATION software tools
    • Sergey Babin, Kuzmin Igor Yu, Mack Chris A.
    • в журнале Microelectronic Engineering, издательство Elsevier BV (Netherlands), том 57, с. 343-348
  • 
    • 1999 Simulation and measurement of resist heating in multipass exposure using a 50 kV variably shaped beam system
    • Babin S., Hartmann H., Kuzmin I.Yu
    • в журнале Microelectronic Engineering, издательство Elsevier BV (Netherlands), том 46, № 1-4, с. 231-234
  • 
    • 1999 Simulation of resist heating using TEMPTATION software with different models of electron-beam energy deposition
    • Kuzmin Igor Y.
    • в журнале Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, издательство SPIE, the International Society for Optical Engineering (Bellingham, WA, United States), том 3676, с. 536-542
  • 
    • 1998 Comparative study of resist heating and proximity effect influence on CD variation in 30 kV EBL
    • Babin S., Hudek P., Kostic I., Kuzmin I.Yu
    • в журнале Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, издательство SPIE, the International Society for Optical Engineering (Bellingham, WA, United States), том 3331, с. 83
  • 
    • 1998 Experimental verification of the TEMPTATION (temperature simulation) software tool
    • Babin S., Kuzmin I.Yu
    • в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, издательство AIP Publishing (United States), том 16, № 6, с. 3241-3247
  • 
    • 1998 Software for Temperature Simulation (TEMPTATION) in Electron-Beam Lithography
    • Babin S., Kuzmin I.Yu, Sergeev G.
    • в журнале Microelectronic Engineering, издательство Elsevier BV (Netherlands), том 41, с. 191
  • • 1997 CD-Variation in 30 kV EBL due to Resist Heating: Experiment and Simulation
    • Babin S., Hudek P., Kostic I., Kuzmin I.Yu
    • в журнале Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, издательство SPIE, the International Society for Optical Engineering (Bellingham, WA, United States), том 3048, с. 368
  • 
    • 1997 Simulation of Resist Heating in Electron Beam Lithography
    • Babin S., Kuzmin I.Yu
    • в журнале Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, издательство SPIE, the International Society for Optical Engineering (Bellingham, WA, United States), том 3048, с. 374
  • 
    • 1997 Software Tool for Temperature Simulation in Electron Beam Lithography: TEMPTATION
    • Babin S., Kuzmin I.Yu, Sergeev G.
    • в журнале Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, издательство SPIE, the International Society for Optical Engineering (Bellingham, WA, United States), том 3236, с. 464
  • 
    • 1996 Advanced model for resist heating effect simulation in electron beam lithography
    • Babin S., Kozunov V., Kuzmin I.
    • в журнале Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, издательство SPIE, the International Society for Optical Engineering (Bellingham, WA, United States), том 2884, с. 520
  • • 1987 Модель электронно-лучевого экспонирования рельефных многослойных структур при изготовлении БИС. Депонированная рукопись 3-8137
    • Грачев Е.А., Кузьмин И.Ю., и др.
    • в журнале НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИ, № 47, с. 1-10
  • • 1987 Экспериментальное исследование тепловых эффектов при электронно-лучевом экспонировании в процессе изготовления фотошаблонов БИС. Депонированная рукопись 3-8130
    • Грачев Е.А., Кузьмин И.Ю., и др.
    • в журнале НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИ, № 48, с. 1-11
  • • 1985 Роль малоугольного приближения в исследовании процесса рассеяния электронов литографических энергий при изготовлении БИС. Депонированная рукопись 3-7685
    • Грачев Е.А., Кузьмин И.Ю., и др.
    • в журнале НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИ, № 26, с. 1-12
  • • 1983 Вычисление на ЭВМ температурных полей в процессе электронно-лучевого экспонирования при изготовлении фотошаблонов БИС
    • Грачев Е.А., Кузьмин И.Ю., Ошарин О.В., Цыганков В.Ю.
    • в журнале Вопросы радиоэлектроники. Серия ЭВТ, № 5, с. 62
  • • 1983 Математическая модель температурных полей в процессе электронно-лучевого экспонирования при изготовлении фотошаблонов БИС
    • Грачев Е.А., Кузьмин И.Ю., Ошарин О.В., Цыганков В.Ю.
    • в журнале Вопросы радиоэлектроники. Серия ЭВТ, № 5, с. 55-61

• Статьи в сборниках

  • • 2019 Анализ гидродинамики свободной воды в почве на основе трехмерной модели её мезоструктуры
    • Кузьмин И.Ю., Ивонин Д.А., Федотов А.Б., Шеин Е.В., Умарова А.Б., Грачёв Е.А.
    • в сборнике Фундаментальные концепции физики почв: развитие, современные приложения и перспективы. Сборник научных трудов Международной научной конференции, посвященной 90-летию со дня рождения Анатолия Даниловича Воронина., серия ISBN 978-5-7913-1108-5. – https://doi.org/10.31453/kdu.ru.91304.0065. – URL: https://bookonlime.ru/node/4660, место издания Москва, с. 296-304 DOI
  • • 1988 Исследование формирования сигнала в датчике обратно отраженных электронов в электронно-лучевых установках
    • Боброва М.К., Грачев Е.А., Гузь И.В., Кузьмин И.Ю., Рыбалко В.В., Цыганков В.Ю.
    • в сборнике Лучевые технологии в электронике: Моделирование и эксперимент, место издания МИЭМ Москва
  • • 1987 Об одном подходе к моделированию рассеяния киловольтного электронного пучка при взаимодействии с непланарными гетероструктурами
    • Грачев Е., Кузьмин И.
    • в сборнике Материалы Республиканской конференции «Физическая Электроника», место издания Каунас
  • • 1987 Система моделирующих программ для оптимизации разработки электронно-лучевой технологии изготовления БИС
    • Кузьмин И.Ю., Хумаль Л.А., Цыганков В.Ю.
    • в сборнике Материалы конференции «Проблемы разработки интегрированных автоматизированных систем в конструировании и производстве», место издания Радио и Связь Москва

• Доклады на конференциях

  • • 2019 Анализ гидродинамики свободной воды в почве на основе трехмерной модели её мезоструктуры (Стендовый)
    • Авторы: Кузьмин И.Ю., Ивонин Д.А., Федотов А.Б., Шеин Е.В., Умарова А.Б., Грачёв Е.А.
    • Международная конференция «Фундаментальные концепции физики почв: развитие, современные приложения и перспективы», посвященная 90-летию со дня рождения профессора МГУ А.Д.Воронина, Москва, Россия, 27-31 мая 2019