Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, возможность загрузки и скачивания файлов временно недоступна.
скрыть
отправить сообщение
Якунин Валерий Георгиевич
пользователь
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение физики твердого тела
,
Кафедра физики полупроводников и криоэлектроники
, старший научный сотрудник, с 1 июля 2009
кандидат физико-математических наук с 1985 года
Соавторы:
Савинов В.П.
,
Рябый В.А.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Александров А.Ф.
,
Ковалевский В.Л.
,
Masherov P.E.
,
Круглов М.С.
,
Иноземцев А.Н.
,
Карпухина О.В.
,
Нетесова Н.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Стрелецкий О.А.
показать полностью...
,
Хвостов В.В.
,
Иваненко И.П.
,
Кузовников А.А.
,
Агафилушкина С.Н.
,
Алыкова А.Ф.
,
Иониди В.Ю.
,
Мушенков А.В.
,
Никифоров В.Н.
,
Новиков Н.Д.
,
Савченко Н.Ф.
,
Kovalevsky V.L.
,
Kuzovnikov A.A.
,
Mussabek G.K.
,
Вавилин К.В.
,
Жуков А.А.
,
Покрышкин А.О.
,
Рухадзе А.А.
,
Anisimkin V.I.
,
Chirvony V.S.
,
Kabashin A.V.
,
Kazaryan M.A.
,
Kuznetsova I.E.
,
Piskunkov A.F.
,
Shikhabudinov A.M.
,
Sporykhin A.A.
,
Taurbaev Y.T.
,
Teplykh A.A.
,
Utegulov Z.N.
,
Yablonskiy A.N.
,
Zaitsev B.D.
,
Асилбаева Р.Б.
,
Булычев Н.А.
,
Быченко А.Б.
,
Гонгальский М.Б.
,
Груздев Г.А.
,
Гусева М.Б.
,
Гуськов В.П.
,
Еремина А.С.
,
Иванов И.В.
,
Калинина И.С.
,
Каменский А.А.
,
Каргина Ю.В.
,
Круглов М.С.
,
Мазина С.Е.
,
Маляров А.В.
,
Мелихов И.В.
,
Осминкина Л.А.
,
Пирогов Ю.А.
,
Преснов Д.Е.
,
Спорыхин А.А.
,
Средин В.Г.
,
Степихова М.В.
,
Сюй Л.
,
Тамаров К.П.
,
Тришин А.А.
,
Червяков А.В.
,
Чжао Ч.
,
Al-Kattan A.
,
Alexandrovich B.
,
Arakeljan E.A.
,
Bulychev N.A.
,
Bychenko A.
,
Dikhanbayev K.K.
,
Goipov A.b.
,
Ikramova S.B.
,
Ivanov A.V.
,
Kairola S.
,
Kalinina I.G.
,
Kanavin A.P.
,
Karpov N.V.
,
Klimentov S.M.
,
Kolesov V.V.
,
Malyarov A.V.
,
Masherov B.
,
Nemkayeva R.R.
,
Novoselov A.N.
,
Pokryshkin N.S.
,
Rebane Y.A.
,
Rodin I.A.
,
Ryabchikov Y.V.
,
Ryabyi V.A.
,
Saule T.
,
Sentis M.
,
Shabdan Y.
,
Smirnov D.R.
,
Turmukhambetov A.Z.
,
Vasilis N.
,
Volkov V.S.
,
Yakovlev N.V.
,
Zavestovskaya I.N.
,
Zhanabayev Z.Z.
,
Zinovyev S.V.
,
uanhui H.Y.
,
Антоненко С.В.
,
Бенитсиафантука Э.У.
,
Бубенов С.С.
,
В Г.Я.
,
Гаврилин И.М.
,
Годяк В.А.
,
Двинин С.А.
,
Домбровский С.В.
,
Дорофеев С.Г.
,
Егоршин И.Н.
,
Жандос Ж.Ж.
,
Жгун В.С.
,
Завестовская И.Н.
,
Иванов А.В.
,
Иванов И.И.
,
Казарин А.Ю.
,
Казарян М.А.
,
Каргин Н.И.
,
Кислинский Ю.В.
,
Колесов В.В.
,
Кудрявцев Е.М.
,
Кузнецов С.В.
,
Покрышкин Н.С.
,
Прядун В.В.
,
Родичкина С.П.
,
Рукин Е.И.
,
Савинов А.В.
,
Свиридкина В.С.
,
Секербаев K.С.
,
Секербаев К.С.
,
Сингаевский И.Ф.
,
Снигирев О.В.
,
Таурбаев Е.T.
,
Третьяков Ю.Д.
,
Утегулов Ж.Н.
,
Фроня А.А.
,
Харин А.Ю.
,
Червяков А.В.
,
Шабданa Е.
,
Якунин В.Г.
82 статьи
,
3 книги
,
48 докладов на конференциях
,
33 тезисов докладов
,
5 НИР
,
7 патентов
,
1 научный отчёт
,
1 диссертация
,
4 дипломные работы
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 51, Scopus: 82
IstinaResearcherID (IRID): 8449630
Деятельность
Статьи в журналах
2022
Effect of Silicate Additive on Structural and Electrical Properties of Germanium Nanowires Formed by Electrochemical Reduction from Aqueous Solutions
Eremina Anna S.
,
Gavrilin Ilya M.
,
Pokryshkin Nikolay S.
, Kharin Alexander Yu,
Syuy Alexander V.
, Volkov Valentin S.,
Yakunin Valery G.
,
Bubenov Sergei S.
,
Dorofeev Sergey G.
, Gavrilov Sergey A.,
Timoshenko Victor Yu
в журнале
Nanomaterials
, издательство
MDPI
(Basel, Switzerland)
, том 12, № 16, с. 2884
DOI
2022
Germanium Nanoparticles Prepared by Laser Ablation in Low Pressure Helium and Nitrogen Atmosphere for Biophotonic Applications
Fronya Anastasiya A.
,
Antonenko Sergey V.
,
Karpov Nikita V.
,
Pokryshkin Nikolay S.
,
Eremina Anna S.
,
Yakunin Valery G.
, Kharin Alexander Yu,
Syuy Alexander V.
,
Volkov Valentin S.
,
Dombrovska Yaroslava
, Garmash Alexander A.,
Kargin Nikolay I.
,
Klimentov Sergey M.
,
Timoshenko Victor Yu
,
Kabashin Andrei V.
в журнале
Materials
, издательство
MDPI
(Basel, Switzerland)
, том 15, № 15, с. 5308
DOI
2022
Size-Dependent Phonon-Assisted Anti-Stokes Photoluminescence in Nanocrystals of Organometal Perovskites
Sekerbayev Kairolla
,
Taurbayev Yerzhan
,
Mussabek Gauhar
,
Baktygerey Saule
,
Pokryshkin Nikolay S.
,
Yakunin Valery G.
,
Utegulov Zhandos
,
Timoshenko Victor Yu
в журнале
Nanomaterials
, издательство
MDPI
(Basel, Switzerland)
, том 12, № 18, с. 3184
DOI
2022
Surface-Enhanced Raman Scattering from Dye Molecules in Silicon Nanowire Structures Decorated by Gold Nanoparticles
Ikramova S.B.
,
Utegulov Z.N.
,
Dikhanbayev K.K.
,
Gaipov A.E.
,
Nemkayeva R.R.
,
Yakunin V.G.
,
Savinov V.P.
,
Timoshenko V.Yu
в журнале
International Journal of Molecular Sciences
, издательство
MDPI
(Basel, Switzerland)
, том 23, № 5, с. 2590
DOI
2021
Application of cold plasma to control the microbiota composition on the surface of potato tubers
Golovin Mikhail L., Orlova Valentina S.,
Mazina Svetlana E.
,
Yakunin Valery G.
, Kuznetsov Sergei V.,
Savinov V.P.
,
Timoshenko V.Yu
в журнале
E3S Web of Conferences
, издательство
EDP Sciences
(France)
, том 265, с. 1-5
DOI
2021
Effect of Low-Temperature Atmospheric Pressure Plasma on Paramecium Caudatum Cell Culture
Gruzdev G.A.
,
Karpukhina O.V.
,
Yakunin V.G.
,
Inozemtsev A.N.
,
Savinov V.P.
,
Timoshenko V.Yu
,
Kamensky A.A.
в журнале
Moscow University Biological Sciences Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 76, № 4, с. 228-232
DOI
2021
Effect of Nanocrystal Size on Anti-Stokes Photoluminescence in Lead Halide Perovskites
Sekerbayev K.S.
,
Mussabek G.K.
,
Pokryshkin N.S.
,
Yakunin V.G.
,
Taurbayev Ye T.
,
Shabdan Ye
,
Utegulov Z.N.
,
Chirvony V.S.
,
Timoshenko V.Yu
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 114, с. 1-4
DOI
2021
Влияние низкотемпературной плазмы атмосферного давления на культуру клеток Paramecium caudatum
Груздев Г.А.
,
Карпухина О.В.
,
Якунин В.Г.
,
Иноземцев А.Н.
,
Савинов В.П.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Каменский А.А.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 16: Биология
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, том 76, № 4, с. 273-277
2021
Влияние размера нанокристаллов на антистоксовую фотолюминесценцию в перовскитах галогенида свинца
Секербаев K.С.
,
Мусабек Г.K.
,
Покрышкин Н.С.
,
Якунин В.Г.
,
Таурбаев Е.T.
,
Шабданa Е.
,
Утегулов Ж.Н.
,
Чирвоный В.С.
,
Тимошенко В.Ю.
в журнале
Письма в "Журнал экспериментальной и теоретической физики"
, том 114, № 8, с. 515-519
2020
Influence of a Medium’s pH on Paramecium caudatum Cells under Exposure to the Low Temperature Atmospheric Pressure Plasma
Kalinina I.G.
,
Karpukhina O.V.
,
Ryabyi V.A.
,
Savinov V.P.
,
Yaqunin V.G.
,
Inozemtsev A.N.
, Ivanov V.B.
в журнале
Russian Journal of Physical Chemistry B
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 14, № 6, с. 1018-1021
DOI
2020
Влияние рН среды на клетки Paramecium caudatum при воздействии низкотемпературной плазмы атмосферного давления
Калинина И.Г.
,
Карпухина О.В.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
,
Иноземцев А.Н.
, Иванов В.Б.
в журнале
Химическая физика
, издательство
Наука
(М.)
, том 39, № 12
DOI
2019
Effect of low temperature plasma of atmospheric pressure on single-cell model organisms of ciliate Paramecium caudatum
Inozemtsev A.N.
,
Karpukhina O.V.
,
Melikhov I.V.
,
Riaby V.A.
,
Savinov V.P.
,
Timoshenko V.Yu
,
Yakunin V.G.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 1238, с. 012050
DOI
2019
Influence of low-temperature atmospheric pressure plasma on the vital functions of microorganisms
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
,
Karpukhina O.V.
,
Inozemtsev A.N.
,
Timoshenko V.Y.
,
Riaby V.A.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 1348, с. 012007
DOI
2019
Optical methods of silicon nanoparticle diagnostics for applications in biomedicine
Alykova A.F.
,
Yakunin V.G.
,
Timoshenko V.Yu
, Zavestovskaya I.N.
в журнале
Journal of Biomedical Photonics & Engineering
, издательство
Samara National Research University
(Samara)
, № 020304
DOI
2019
Plasma Interaction with Boundary Surfaces in Low-PressureRadio-Frequency Capacitive Discharge
Savinov V.P.
,
Kruglov M.S.
,
Riaby V.A.
,
Chervyakov A.V.
,
Yakunin V.G.
в журнале
Physics of Atomic Nuclei
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 82, № 10, с. 1433-1436
2019
Practical uses of high-durability DC arc plasmatrons
Yakunin V.G.
,
Riaby V.A.
,
Savinov V.P.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 1348, с. 012018
DOI
2019
Raman spectroscopy of silicon nanowires formed by metal-assisted chemical etching
Yakunin V.G.
,
Asilbaeva R.B.
,
Rodichkina S.P.
,
Alykova A.F.
,
Turmukhambetov A.Zh
,
Timoshenko V.Yu
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 1348, с. 012025
DOI
2019
Silicon and germanium nanostructures formed by spark discharge plasma
Yakunin V.G.
,
Presnov D.E.
,
Stepikhova M.V.
,
Yablonskiy A.N.
,
Assilbaeva R.B.
, Grevtseva T.Yu,
Zhanabaev Z.Zh
,
Savinov V.P.
,
Timoshenko V.Yu
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 1238, с. 012052
DOI
2019
Взаимодействие плазмы с граничными поверхностями в ВЧ емкостном разряде низкого давления
Савинов В.П.
,
Круглов М.С.
,
Рябый В.А.
,
Червяков А.В.
,
В Г.Якунин
в журнале
Ядерная физика и инжиниринг
, издательство
НИЯУ МИФИ
(Москва)
, том 10, № 2, с. 184-188
2018
Full diagnostics of an inductive plasma section of an ion thruster model
Riaby V.A.
,
Savinov V.P.
,
Masherov P.E.
,
Yakunin V.G.
в журнале
Eastern-European Scientific Journal
, том 32, № 4, с. 59-67
2018
Method for reducing measurement errors of a Langmuir probe with a protective RF shield
Riaby V.
,
Masherov P.
,
Savinov V.
,
Yakunin V.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 123, с. 163301-1-163301-6
DOI
2018
Note: Additionally refined new possibilities of plasma probe diagnostics
Riaby V.A.
,
Savinov V.P.
,
Masherov P.E.
,
Yaknin V.G.
в журнале
Review of Scientific Instruments
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 89, с. 036102
DOI
2018
RF plasma probe diagnostics: a method of eliminating measurement errors for Langmuir probes with bare protective shields
Riaby V.A.
,
Masherov P.E.
,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 958, № 012006, с. 012006-1-012006-14
DOI
2018
Raman diagnostics of silicon nanocrystals dissolution in aqueous medium
Alykova A.F.
, Zavestovskaya I.N.,
Yakunin V.G.
,
Timoshenko V.Yu
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 945, № 1, с. 012002
DOI
2018
Study of physical properties of metal oxide nanoparticles obtained in acoustoplasma discharg
Kazaryan Mishik A., Bulychev Nikolay A., Zakharyan Robert A., Marina Kirichenko,
Shevchenko S.N.
,
Yakunin V.G.
,
Timoshenko V.Yu
, Bychenko Andrey B.
в журнале
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, издательство
SPIE, the International Society for Optical Engineering
(Bellingham, WA, United States)
, том 10614, с. 1061412-1-1061412-5
DOI
2018
Методика повышения точности диагностики плазмы зондами Ленгмюра с неизолированными экранами их выводов
Рябый В.А., Машеров П.Е.,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Известия Российской академии наук. Энергетика
, № 3, с. 33-43
DOI
2017
A Long-Lifetime Plasmatron for Use in Medicine
Riaby V.A.
,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
,
Pirogov Yu A.
,
Rodin I.A.
в журнале
Biomedical engineering
, издательство
United Trade Press.
(London, England)
, том 51, № 3, с. 195-199
DOI
2017
Electrolytic conductivity-related radiofrequency heating of aqueous suspensions of nanoparticles for biomedicine
Konstantin Tamarov
,
Maxim Gongalsky
,
Liubov Osminkina
,
uanhui Huang Y.
, Murad Omar,
Valery Yakunin
,
Vasilis Ntziachristos
, Daniel Razansky,
Victor Timoshenko
в журнале
Physical Chemistry Chemical Physics
, издательство
Royal Society of Chemistry
(United Kingdom)
, том 19, с. 11510-11517
DOI
2017
Elevating the Precision of Plasma Probe Diagnostics by Elimination of Bare Probe Protective Shields Influence
Riaby V.
,
Savinov V.
,
Masherov P.
,
Yakunin V.
в журнале
Journal of Chemistry: Education Research and Practice
, том 1, № 1, с. 1-5
2017
New Applications of Langmuir Probes
Masherov P.E.
,
Piskunkov A.F.
,
Riaby V.A.
,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
в журнале
Physics of Atomic Nuclei
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 80, № 11, с. 1697-1700
DOI
2017
Высокоресурсный плазматрон для применения в медицине
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
,
Пирогов Ю.А.
, Родин И.А.
в журнале
Медицинская техника
, издательство
Izdatel'stvo Meditsina Publishers
(Russian Federation)
, том 51, № 3, с. 31-35
2016
Peculiarities of metal oxide nanoparticles obtained in acoustoplasma discharge
Bulychev N.A.
,
Kazaryan M.A.
,
Nikiforov V.N.
,
Shevchenko S.N.
,
Yakunin V.G.
,
Timoshenko V.Yu
,
Bychenko A.B.
,
Sredin V.G.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 42, № 5, с. 495-497
DOI
2016
Si nanoparticles as sensitizers for radio frequency-induced cancer hyperthermia
Kabashin A.V.
,
Tamarov K.P.
,
Ryabchikov Yu V.
,
Osminkina L.A.
,
Zinovyev S.V.
,
Kargina J.V.
,
Gongalsky M.B.
,
Al-Kattan A.
,
Yakunin V.G.
,
Sentis M.
,
Ivanov A.V.
,
Nikiforov V.N.
,
Kanavin A.P.
,
Zavestovskaya I.N.
,
Timoshenko V.Yu
в журнале
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, издательство
SPIE, the International Society for Optical Engineering
(Bellingham, WA, United States)
, том 9737, № 97370A, с. 97370A-1-97370A-10
DOI
2016
Многофункциональный высокоресурсный плазмотрон нового поколения
Рябый В.А.,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
,
Ковалевский В.Л.
,
Мушенков А.В.
,
Иониди В.Ю.
в журнале
Учебный эксперимент в образовании. Научно-методический журнал
, том 79, № 3, с. 59-65
2016
Новые применения зондов Ленгмюра
Машеров П.Е.
,
Пискунков А.Ф.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Ядерная физика и инжиниринг
, издательство
НИЯУ МИФИ
(Москва)
, том 7, № 5, с. 453-457
DOI
2016
Особенности наночастиц оксидов металлов, полученных в акустоплазменном разряде
Булычев Н.А.
,
Казарян М.А.
,
Никифоров В.Н.
,
Шевченко С.Н.
,
Якунин В.Г.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Быченко А.Б.
,
Средин В.Г.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 42, № 9, с. 105-110
2016
Разработка высокоресурсного плазмотрона для плазменной медицины
Рябый В.А.,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
,
Ковалевский В.Л.
,
Мушенков А.В.
,
Иониди В.Ю.
в журнале
Учебный эксперимент в образовании. Научно-методический журнал
, том 79, № 3, с. 65-72
2015
Исследование физических свойств и цитотоксичности наночастиц оксидов металлов, полученных методом разряда при ультразвуковой кавитации
Никифоров В.Н.
,
Булычев Н.А.
,
Казарян М.А.
,
Прядун В.В.
,
Шевченко С.Н.
,
Якунин В.Г.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Быченко А.Б.
,
Иванов А.В.
в журнале
Медицинская физика
, № 4 вып 68, с. 75-80
2015
Роль собственных электронных пучков в механизме ВЧ емкостного разряда
Ермишин А.Д.
,
Круглов М.С.
,
Ковалевский В.Л.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Учебный эксперимент в образовании. Научно-методический журнал
, № 3, с. 55-65
2014
Noncontact determination of thin films conductance by SHo plate acoustic waves
Kuznetsova I.E.
,
Zaitsev B.D.
,
Anisimkin V.I.
,
Teplykh A.A.
,
Shikhabudinov A.M.
,
Kolesov V.V.
,
Yakunin V.G.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 115, с. 044504 - 1- 044504 - 5
DOI
2013
Features of the Tunneling Conductivity of Two-Dimensional Ordered Linear-Chain Carbon Films
Khvostov V.V.
,
Ivanenko I.P.
,
Streletskii O.A.
,
Novikov N.D.
,
Yakunin V.G.
,
Savchenko N.F.
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 97, № 4, с. 205-208
DOI
2013
Особенности туннельной проводимости пленок двумерно упорядоченного линейно-цепочечного углерода
Хвостов В.В.
,
Иваненко И.П.
,
Стрелецкий О.А.
,
Новиков Н.Д.
,
Якунин В.Г.
,
Савченко Н.Ф.
в журнале
Письма в "Журнал экспериментальной и теоретической физики"
, том 97, № вып 4, с. 231-234
DOI
2013
Приэлектродный плазмоид в высокочастотном емкостном разряде низкого давления
Круглов М.С.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Учебный эксперимент в образовании. Научно-методический журнал
, № № 3, с. 73-74
2013
Физические свойства асимметричного высокочастотного емкостного разряда низкого давления
Круглов М.С.
,
Ковалевский В.Л.
,
Савинов В.П.
,
Свиридкина В.С.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Учебный эксперимент в образовании. Научно-методический журнал
, № № 2, с. 73-79
2013
Частотная зависимость физических свойств ВЧ емкостного разряда низкого давления
Егоршин И.Н.
,
Жуков А.А.
,
Ковалевский В.Л.
,
Круглов М.С.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Учебный эксперимент в образовании. Научно-методический журнал
, № № 3, с. 69-72
2012
Properties of carbon films with high conductivity anisotropy
Khvostov V.V.
,
Streletskiy O.A.
,
Yakunin V.V.
,
Ivanenko I.P.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 67, № 1, с. 71-76
DOI
2012
Зависимость параметров плазмы емкостного высокочастотного разряда низкого давления с внешними электродами от его характеристик
Жуков А.А.
,
Круглов М.С.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Учебный эксперимент в образовании. Научно-методический журнал
, № № 2, с. 25-28
2012
Свойства углеродных пленок с высокой анизотропией проводимости
Хвостов В.В.,
Стрелецкий О.А.
,
Иваненко И.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № № 1, с. 78-82
2012
Физические свойства емкостного высокочастотного разряда низкого давления
Жуков А.А.
,
Ковалевский В.Л.
,
Круглов М.С.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Учебный эксперимент в образовании. Научно-методический журнал
, № № 2, с. 29-34
2011
Диагностика приэлектродных слоев пространственного заряда ВЧ –емкостного разряда
Александров А.Ф.
,
Ковалевский В.Л.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Вестник Казанского технологического университета
, № № 13, с. 46-50
2011
Получение однородной плазмы тлеющего ВЧЕ - разряда в зоне плазмохимической обработки подложки
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Вестник Казанского технологического университета
, № № 13, с. 36-41
2010
Experimental Study of Patterns of Energy Input into Hybrid Low Pressure Discharge for Varying RF Generator Power and Argon Pressure
Alexandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kral'kina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Rukhadze A.A.
,
Savinov V.P.
, Zhao Chen,
Yakunin V.G.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 65, № 4, с. 311-316
DOI
2010
The inductive channel effect on the parameters of the space-charge electrode sheaths in a hybrid RF discharge
Alexandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 65, № 1, с. 43-45
DOI
2005
Short-circuited double Langmuir probe as a model of a conducting wafer under plasma processing
Aleksandrov A.F.
,
Riaby V.A.
,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 34, № 1, с. 18-21
DOI
2005
Проводящая пластина в плазме – аналог короткозамкнутого двойного зонда Ленгмюра
Александров А.Ф.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Микроэлектроника
, издательство
Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
(Москва)
, том 34, № 1, с. 21
2002
Contactless method for studying the parameters of the electrode region of an RV discharge
Aleksandrov A.F.
, Ryaby V.A.,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 28, № 12, с. 1001-1007
DOI
1997
An experimental study of copper self-diffusion in CuO, Y2Cu2O5 and YBa2Cu3O7-x by secondary neutral mass spectrometry
Rebane J.A.
,
Yakovlev N.V.
, Chicherin D.S.,
Tretyakov Yu D.
, Leonyuk L.I.,
Yakunin V.G.
в журнале
Journal of Materials Chemistry
, издательство
Royal Society of Chemistry
(United Kingdom)
, том 7, № 10, с. 2085-2089
DOI
1997
Plasma properties of cuprate crystals
Netesova N.P.
,
Yakunin V.G.
в журнале
Optical technics, SPIE, Russia,
, № 1, с. 34-38
1996
Electrical breakdowns of MOS structures: A primary cause of chip degradation in plasma
Ryabyi V.A.
,
Savinov V.P.
,
Sporykhin A.A.
,
Yakunin V.G.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 25, № 2, с. 115-121
1996
MOS-structure electrical damage is the most important factor of microelectronic chips’ plasma degradation
Riaby V.A.
,
Savinov V.P.
,
Sporykhin A.A.
,
Yakunin V.G.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 25, № 2, с. 45
1996
Электрические пробои МОП структур – важнейший фактор плазменной деградации микроэлектронных чипов
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Спорыхин А.А.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Микроэлектроника
, издательство
Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
(Москва)
, том 25, № 2, с. 127-134
1995
Об экспериментальной оценке электростатического напряжения, возникающего на МОП- структурах при плазменной обработке
Рябый В.А.,
Савинов В.П.
,
Спорыхин А.А.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Труды Физико-технологического института
, издательство
Физико-технологический институт РАН
(Москва)
, № 10, с. 150-157
1993
Specific boundary resistance in Y1Ba2Cu3O7-x/Au thin-film bilayer
Smirnov D.R.
,
Snigirev O.V.
,
Yakunin V.G.
в журнале
IEEE Transactions on Applied Superconductivity
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 3, № 1, с. 1319-1321
DOI
1983
Исследование параметров плазмы ВЧ разряда среднего давления спектроскопическим методом
Кузовников А.А.
,
Маляров А.В.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, том 24, № 3, с. 79-80
1980
He-Cd+ - лазер на поперечном ВЧ разряде
Кузовников А.А.
,
Савинов А.П.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 4, с. 75-77
1980
He-Ne лазер на поперечном ВЧ разряде
Кузовников А.А.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Радиотехника и электроника
, издательство
Наука
(М.)
, том 25, № 8, с. 1677-1682
1980
THE HE-CD+ TRANSVERSAL HF DISCHARGE LASER
KUZOVNIKOV A.A.
,
SAVINOV V.P.
,
YAKUNIN V.G.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, том 21, № 4, с. 75-77
1980
TRANSVERSE HF-DISCHARGE He-Ne LASER
Kuzovnikov A.A.
,
Novoselov A.N.
,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
в журнале
Radiotekhnika I Elektronika
, том 25, № 8, с. 1677-1682
1980
Востановление разрядных трубок He-Ne лазеров
Ершов А.С.,
Казарин А.Ю.
,
Якунин В.Г.
в журнале
Приборы и техника эксперимента
, издательство
ИКЦ «Академкнига»
(Москва)
, № 1, с. 262
1979
The investigation of physical properties of the near electrode region of RF discharge
Kuzovnikov A.A.
,
Kovalevsky V.L.
,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
в журнале
JOURNAL DE PHYSIQUE
, том 40, № C-7, с. C7-459-C7-460
1975
Ferroelectric thermal Radiators with High temperature stability
Ivanov I.V.
,
Guskov V.P.
,
Yakunin V.G.
в журнале
SOVIET JOURNAL OF OPTICAL TECHNOLOGY
, № 6, с. 57-59
Статьи в сборниках
2022
2022 Свойства плазменной струи маломощного низкочастотного разряда атмосферного давления В.В сборнике XIII конференция "Современные средства диагностики плазмы и их применение" Москва, 7-9 декабря 2022 г(Электронный ресурс) М.: НИЯУ МИФИ, 2022, с. 95-98
Савинов В.П.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
XIII конференция "Современные методы диагностики плазмы ми их применение"
, издательство
НИЯУ МИФИ
(Москва)
, с. 95-98
2018
Additionally refined new possibilities of plasma probe diagnostics
Riaby V.A.
,
Savinov V.P.
,
Masherov P.E.
,
Yakunin V.G.
в сборнике
Proc.22-nd International Conference on Gas Discharges and their Applications (Novi Sad, Serbia)
, место издания
Serb. Acad. Sci. Arts & Inst. Phys Novi Sad, Serbia
, том 2, с. 587-590
2018
Особенности физического механизма и возможности практического применения ВЧ емкостного разряда
Якунин В.Г.
,
Круглов М.С.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Тимошенко В.Ю.
в сборнике
XI конференция "Современные методы диагностики плазмы и их применение"
, место издания
Типграфия НИЯУ МИФИ Москва
, с. 108-111
2017
Высокоресурсный плазмотрон широкого практического применения
Рябый В.А.,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
,
Ковалевский В.Л.
,
Мушенков А.В.
,
Иониди В.Ю.
в сборнике
Материалы X Международной научно-технической конференции "Фундаментальные и прикладные проблемы физики", Саранск, 2017
, место издания
г. Саранск
, с. 29-35
2017
Особенности применения высокоресурсного плазмотрона в плазменной медицине
Рябый В.А.,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
,
Мушенков А.В.
,
Иониди В.Ю.
в сборнике
Материалы X Международной научно-технической конференции "Фундаментальные и прикладные проблемы физики", Саранск, 2017
, место издания
г. Саранск
, с. 36-42
2015
Электронно-пучковые эффекты ВЧ емкостного разряда
Ермишин А.Д.
,
Круглов М.С.
,
Ковалевский В.Л.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Материалы IX Международной конференции "Фундаментальные и прикладные проблемы физики"
, место издания
Издательство Мордовского государственного педагогического института им. М. Е. Евсевьева г. Саранск
, с. 35-40
2013
The Acoustic Method of the Noncontact Determination of Thin Films Conductivity
Kuznetsova I.E.
,
Zaitsev B.D.
,
Anisimkin V.I.
,
Teplykh A.A.
,
Shikhabudinov A.M.
,
Kolesov V.V.
,
Yakunin V.G.
в сборнике
IEEE International Ultrasonics Symposium
, с. 1594-1597
DOI
2013
Новые формы углерода и их применение в электронике
Александров А.Ф.
,
Гусева М.Б.
,
Новиков Н.Д.
,
Савченко Н.Ф.
,
Стрелецкий О.А.
,
Хвостов В.В.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Новые углеродные материалы: получение, исследование, перспективы применения
, место издания
М.: Наука
, с. 10-30
2011
Current density measurements for electrons emitted by electrodes of a low pressure RF capacitive discharge
Kovalevsky V.L.
,
Riaby V.A.
,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
в сборнике
Proceedings of the XXX ICPIG
, место издания
Belfast, Northern Ireland, UK
1999
Особенности газовых лазеров с накачкой емкостным ВЧ разрядом
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Межвуз. сборник "Источники излучения"
, место издания
МГПИ Саранск
, с. 8-11
1995
Electrophysical interaction of silicon wafers with glow discharge plasmas
Alexandrov A.F.
, Riaby V.A.,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
в сборнике
Contr. papers XI Intern. Conf. on Gas Discharges and Their Applications
, место издания
Tokyo, Japan
, том 1, с. 498-502
Книги
2018
Full diagnostics of an inductive plasma section of an ion thruster
Riaby V.,
Savinov V.
, Masherov P.,
Yakunin V.
место издания
LAP LAMBERT Academic Publishing
, ISBN 978-620-2-19738-0, 102 с.
2017
Физика граничных слоев плазмы. Учебное пособие
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
место издания
Физический факультет МГУ им. М.В.Ломоносова МГУ
, 142 с.
2013
Новые углеродные наноматериалы: получение, исследование, перспективы применения. Новые формы углерода и их применение в электронике
Александров А.Ф.
,
Гусева М.Б.
,
Новиков Н.Д.
,
Савченко Н.Ф.
,
Стрелецкий О.А.
,
Хвостов В.В.
,
Якунин В.Г.
место издания
Наука Москва
, ISBN 978-5-02-038086-8, 109 с.
Доклады на конференциях
2022
Свойства плазменной струи маломощного низкочастотного разряда атмосферного давления
(Устный)
Авторы:
ВПСавинов
,
тимошенко В.ю.
,
Якунин В.Г.
XIII Конференция "Современные средства диагностики плазмы и их применение"
, Москва, Россия, 7-9 декабря 2022
2019
Разогрев водных суспензий немагнитных непроводящих наночастиц под действием высокочастотного электромагнитного излучения
(Устный)
Авторы:
Якунин В.Г.
,
Каргина Ю.В.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Харин А.Ю.
ХХVII Международная конференция ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЕ ПОЛЕ И МАТЕРИАЛЫ (Фундаментальные Физические Исследования)
, Москва, Россия, 22 ноября 2019
2019
Взаимодействие плазмы с граничными поверхностями в ВЧ емкостном разряде низкого давления
(Устный)
Авторы:
Савинов В.П.
,
Круглов М.С.
,
Червяков Анатолий Васильевич
,
Якунин В.Г.
,
Рябый В.А.
V Международная конференция «Лазерные, плазменные исследования и технологии» ЛаПлаз-2019
, национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Россия, 12-15 февраля 2019
2019
Исследование наноструктурированных кремниевых слоёв методом спектроскопии комбинационного рассеяния света
(Устный)
Авторы:
Асилбаева Р.Б.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Якунин В.Г.
Десятая Всероссийская конференция «Необратимые процессы в природе и технике», Москва, 29–31 января 2019 г., МГТУ им. Н.Э.Баумана
, Москва, Россия, 29-31 января 2019
2019
Практические применения высокоресурсного электродугового плазматрона постоянного тока
(Устный)
Авторы:
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
Десятая Всероссийская конференция «Необратимые процессы в природе и технике», Москва, 29–31 января 2019 г., МГТУ им. Н.Э.Баумана
, Москва, Россия, 29-31 января 2019
2019
Эффект низкотемпературной плазмы атмосферного давления на жизнедеятельность простейшего организма Paramecium Caudatum
(Устный)
Авторы:
Карпухина О.В.
,
Иноземцев А.Н.
,
Якунин В.Г.
,
Савинов В.П.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Рябый В.А.
Десятая Всероссийская конференция «Необратимые процессы в природе и технике», Москва, 29–31 января 2019 г., МГТУ им. Н.Э.Баумана
, Москва, Россия, 29-31 января 2019
2018
Особенности физического механизма и возможности практического применения ВЧ емкостного разряда
(Устный)
Авторы:
Якунин В.Г.
,
Круглов М.С.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Савинов В.П.
,
Рябый В.А.
Современные методы диагностики плазмы и их применение
, Институт Лазерных и плазменных технологий НИЯУ МИФИ, Москва, Россия, 13-15 ноября 2018
2018
Additionally refined new possibilities of plasma probe diagnostics
(Устный)
Авторы:
Masherov P.E.
,
Savinov V.P.
,
Riaby V.A.
,
Yakunin V.G.
XXII International Conference on Gas Discharges and their Applications
, Novi Sad, Сербия, 2-7 сентября 2018
2018
Наноструктурирование поверхности кристаллических кремния и германия в плазме искрового разряда
(Устный)
Авторы:
Якунин В.Г.
,
Степихова М.В.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Яблонский А.Н.
,
Савинов В.П.
,
Преснов Д.Е.
IV Международная конференция Лазерные, плазменные исследования и технологии ЛаПлаз 2018
, Москва, МИФИ, Россия, 30 января - 1 февраля 2018
2018
Экспериментальное исследование воздействия низкотемпературной плазмы на биологический объект – одноклеточный организм Paramecium Caudatum.
(Стендовый)
Авторы:
Иноземцев А.Н.
,
Карпухина О.В.
,
Мелихов И.В.
,
Якунин В.Г.
,
Савинов В.П.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Рябый В.А.
IV Международная конференция Лазерные, плазменные исследования и технологии ЛаПлаз 2018
, Москва, МИФИ, Россия, 30 января - 1 февраля 2018
2017
Elevating the precision of RF plasma probe diagnostics by elemination of bare probe protective shields' influence
(Пленарный)
Авторы:
Riaby V.
,
Savinov V.
,
Yakunin V.
,
Masherov P.
The 5th International Conference on Plasma Chemistry and Plasma Processing
, Paris, Франция, 13-14 ноября 2017
2016
Новые применения зондов Ленгмюра
(Стендовый)
Авторы:
Машеров П.Е.
,
Якунин В.Г.
,
Савинов В.П.
,
Рябый В.А.
X конференция "Современные средства диагностики плазмы и их применение"
, Москва, Россия, 10-15 октября 2016
2016
ПОЛУЧЕНИЕ ЛЕГИРОВАННЫХ ПОЛИКАРБИНОВ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ В СИНТЕЗЕ ЛЕГИРОВАННЫХ АЛМАЗНЫХ ФАЗ
(Стендовый)
Авторы:
Сизов А.И.
,
Звукова Т.М.
,
Булычев Б.М.
,
Якунин В.Г.
,
Хвостов В.В.
XX Менделеевский съезд по общей и прикладной химии. Екатеринбург, Россия. 26-30 сентября 2016 г.
, Екатеринбург, Россия, 20-30 сентября 2016
2016
Silicon nanoparticles as sensitizers of radio-frequency irradiation effects for biomedical applications
(Устный)
Авторы:
Kargina Y.V.
,
Tamarov K.P.
,
Gongalsky M.B.
,
Osminkina L.A.
,
Zinovyev S.V.
,
Ivanov A.V.
,
Nikiforov V.N.
,
Yakunin V.G.
,
Perepukhov A.M.
,
Maximychev A.A.
,
Pirogov Yu A.
,
Kabasin A.V.
,
Timoshenko V.Y.
International seminar "Advanced Accelerator & Radiation Physics". Interaction of Radiation with Matters. Applications to Life Sciences on the Earth and in Space
, НИЯУ МИФИ, Россия, 6-9 июня 2016
2015
Электронно-пучковые эффекты ВЧ ёмкостного разряда
(Устный)
Авторы:
Ермишин А.Д.
,
Круглов М.С.
,
Ковалевский В.Л.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
Международная конференция «Фундаментальные и прикладные проблемы физики» Саранск 2015
, Саранск, Россия, 16-18 ноября 2015
2013
The Acoustic Method of the Noncontact Determination of Thin Films Conductivity
Авторы:
Kuznetsova Iren E.
,
Zaitsev Boris D.
,
Anisimkin Vladimir I.
,
Yakunin Valery G.
,
Shikhabudinov Aleksander M.
,
Kolesov Vladimir V.
,
Teplykh Andrey A.
2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
, г.Прага, 2013
2012
Charge fluctuations in the complex lithium oxides
Авторы:
Netesova N.P.
,
Yakunin V.G.
,
Arakeljan E.A.
XV Международная конф. по Оптонанотехнологии и микросистемам
, г.Ульяновск, 2012
2012
Свойства углеродных пленок, полученных распылением графитовой мишени пучком ускоренных ионов аргона.
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Хвостов В.В.
,
Стрелецкий О.А.
,
Якунин В.В.
,
Иваненко И.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
XXXIX Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 6 – 10 февраля 2012 г.
, Звенигород, Россия, 2012
2011
Current density measurements for electrons emitted by electrodes of a low pressure RF capacitive discharge
(Стендовый)
Авторы:
LKovalevsky V.
,
Riaby V.A.
,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
Proc. of the XXX-th ICPIG
, Belfast, Northern Ireland, UK., Ирландия, 2011
2011
Влияние внешней цепи разряда на энерговклад в гибридный ВЧ разряд низкого давления
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Якунин В.Г.
,
Рухадзе А.А.
,
Савинов В.П.
,
Чжао Ч.
,
Павлов В.Б.
Тезисы докладов XXXVIII Междунар. (Звенигородской) конф. по физике плазмы и УТС
, Звенигород, 2011
2011
Диагностика приэлектродных слоев пространственного заряда ВЧ емкостного разряда
(Устный)
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Ковалевский В.Л.
,
Якунин В.Г.
,
Савинов В.П.
,
Рябый В.А.
Материалы Междунар. конф. "Физика ВЧ разрядов"
, г. Казань, 2011
2011
Получение однородной плазмы перед подложкой при использовании подготовительного ВЧЕ разряда
(Стендовый)
Авторы:
Рябый В.А.
,
Якунин В.Г.
,
Савинов В.П.
Материалы Междунар. конф. "Физика ВЧ разрядов"
, г. Казань, 2011
2010
Пленки линейно – цепочного углерода
Авторы:
Кашин В.В.
,
Колесов В.В.
,
Новиков Н.Д.
,
Якунин В.Г.
Тезисы II Международной Научной конференции
, г.Киев, 2010
2010
Эксперементальное изучение закономерностей энерговклада в гибридной ВЧ разряда низкого давления
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов А.Б.
,
Рухадзе А.А.
,
Савинов В.П.
,
Чжао Ч.
,
Якунин В.Г.
ХХХVII Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу
, г.Звенигород, 2010
1998
Oxygen Oscillations for High-temperature Superconductor Transition
(Устный)
Авторы:
Yakunin V.G.
,
Netesova N.P.
53 -rd Ohio State University International Symposium on Molecular Spectroscopy, June 15-19, 1998.
, Колумбус, США, 15-19 июня 1998
1997
Plasma Mechanism of High Temperature Superconductor Phase Transitions
(Стендовый)
Авторы:
Netesova N.P.
,
Yakunin V.G.
6-th Int. Superconductive Electronics Conference, Berlin, June 25-28, 1997
, Берлин, Германия, 26-27 июня 1997
1993
Особенности динамики электронных потоков на электроды емкостного ВЧ разряда
(Устный)
Авторы:
Ковалевский В.Л.
,
Якунин В.Г.
,
Сингаевский И.Ф.
,
Савинов В.П.
XXIX научная конф. по физ.-мат., естеств. наукам УДН им. Миклухо-Маклая
, Москва, Россия, 20 октября 1993
1991
Physical aspects of Dry plasma etching of photoresistin barrel reactors
(Стендовый)
Авторы:
Iermolova N.A.
,
Malyarov A.V.
,
Yakunin V.G.
,
Savinov V.P.
,
Sporikhin A.A.
,
Riaby V.A.
XX ICPIG, 1, 167
, Piza, Italia, Италия, 15-18 сентября 1991
1989
Charge particles flows dynamics to HF discharge electrodes
(Стендовый)
Авторы:
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
ICPIG-XIX
, Belgrade, Республика Македония, 20-22 июля 1989
1989
Динамика электронных потоков в приэлектродных областях емкостного ВЧ разряда
(Стендовый)
Авторы:
Гордеев А.И.,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
XI Всесоюзн. конф. "Генераторы низкотемпературной плазмы"
, Новосибирск, Россия, 15-17 июня 1989
1988
Собственные электростатические поля в безэлектродном емкостном ВЧ разряде
(Стендовый)
Авторы:
Ковалевский В.Л.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
IV Всесоюзн. конф. по физике газового разряда
, Махачкала, Россия, 18-22 августа 1988
1988
Характер зависимости концентрации электронов от давления и рода газа в плазме поперечного ВЧ разряда
(Стендовый)
Авторы:
Двинин С.А.
,
Кузовников А.А.
,
Якунин В.Г.
,
Савинов В.П.
,
Маляров А.В.
IV Всесоюзн. конф. по физике газового разряда
, Махачкала, Россия, 18-22 августа 1988
1988
Changing of oxygen plasma parameters in RF discharge over photoresist surfase
(Стендовый)
Авторы:
Malyarov A.V.
, Gordeev A.I.,
Yakunin V.G.
,
Savinov V.P.
,
Riaby V.A.
IX Europ. Sect. Conf. Atom. Molecul. Phys. Ionised Gases
, Lisbon, Португалия, 20-22 июля 1988
1988
The pecualiarities of electron concentration dependence on pressure and gas sort in transversal HF disharge
(Стендовый)
Авторы:
Dvinin S.A.
,
Kuzovnikov A.A.
,
Yakunin V.G.
,
Savinov V.P.
,
Malyarov A.V.
IX Europ. Sect. Conf. Atom. Molecul. Phys. Ionised Gases
, Lisbon, Португалия, 20-22 июля 1988
1988
Процесс ионизации в плазме поперечного ВЧ разряда
(Стендовый)
Авторы:
Маляров А.В.
,
Якунин В.Г.
,
Савинов В.П.
Всесоюзн. семинар "Процессы ионизации с участием возбужденных атомов"
, Ленинград, Россия, 15-16 февраля 1988
1986
Физические параметры плазмы поперечного ВЧ разряда
(Стендовый)
Авторы:
Кузовников А.А.
,
Маляров А.В.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
Контроль плазменных технолог. проц. в электронике и микроэлектроэлектронике
, Минск, Россия, 18 февраля 1986
1984
Исследование зависимости кинетики электронов плазмы поперечного ВЧ разряда от физических условий его создания
(Устный)
Авторы:
Савинов В.П.
,
Кузовников А.А.
,
Якунин В.Г.
II Всесоюзн. совещ. по физике электр. пробоя газов
, Тарту, Россия, 20-22 сентября 1984
1984
Исследование параметров плазмы с немаксвелловской функцией распределения электронов по энергиям в поперечном ВЧ разряде
(Устный)
Авторы:
Кузовников А.А.
,
Маляров А.В.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
II Всесоюзное совещание по физике электр. пробоя газов
, Тарту, Россия, 20-22 сентября 1984
1984
Пространственное распределение молекулярных ионов He2 в поперечном ВЧ разряде в гелии
(Устный)
Авторы:
Кузовников А.А.
,
Маляров А.В.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
II Всесоюзн. совещ. по физике электр. пробоя газов
, Тарту, Россия, 20-22 сентября 1984
1984
Molecular ions He2+ spatial distribution in helium HF discharge
(Стендовый)
Авторы:
Malyarov A.V.
,
Yakunin V.G.
,
Savinov V.P.
,
Kuzonikov A.A.
VII Europ. Sect. Conf. Atom. Molec. Phys. Ionis. Gases
, Bari, Италия, 15-17 августа 1984
1983
Study of the transverse medium pressure HF discharge plasma parameters
(Стендовый)
Авторы:
Kuzovnikov A.A.
,
Yakunin V.G.
,
Savinov V.P.
ICPIG - XVI
, Dusseldorf, Германия, 17-20 августа 1983
1982
Изучение нелинейных явлений на границах плазмы ВЧ разряда среднего давления
(Стендовый)
Авторы:
Маляров А.В.
,
Якунин В.Г.
,
Савинов В.П.
,
Кузовников А.А.
III Всесоюзн. конф. "Взаимод. эл.-маг. излуч. с плазмой"
, Алма-Ата, Россия, 20-22 сентября 1982
1982
Об одном механизме ВЧ нагрева электронов ограниченной плазмы
(Устный)
Авторы:
Елисеев Н.В.
,
Якунин В.Г.
,
Савинов В.П.
,
Кузовников А.А.
III Всесоюзн. конф. "Взаимод. эл.-маг. излуч. с плазмой"
, Алма-Ата, Россия, 20-22 сентября 1982
1982
Исследование радиального распределения плотности нейтрального газа в плазме ВЧ разряда
(Стендовый)
Авторы:
Кузовников А.А.
,
Маляров А.В.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
I Всесоюзн. совещ.по физике электр. пробоя газов
, Махачкала, Россия, 15-17 сентября 1982
1982
Спектроскопическое исследование параметров плазмы ВЧ разряда
(Стендовый)
Авторы:
Савинов В.П.
,
Кузовников А.А.
,
Якунин В.Г.
,
Маляров А.В.
I Всесоюзн. совещ.по физике электр. пробоя газов
, Махачкала, Россия, 15-17 сентября 1982
1979
О физических свойствах приэлектродных областей ВЧ разряда
(Устный)
Авторы:
Кузовников А.А.
,
Якунин В.Г.
,
Савинов В.П.
,
Ковалевский В.Л.
V Всесоюзн. конф. по физике низкотемп. плазмы
, Киев, Россия, 20-22 мая 1979
1977
Experimental study of the rectifying properties of HF discharge
(Стендовый)
Авторы:
Kuzovnikov A.A.
,
Yakunin V.G.
,
Savinov V.P.
,
Kovalevsky V.L.
ICPIG-XIII
, Berlin, Германия, 18-22 октября 1977
1976
Study of the boundary region of the HF discharge plasma by the optical method
(Стендовый)
Авторы:
Kuzovnikov A.A.
,
Yakunin V.G.
,
Savinov V.P.
,
Kovalevsky V.L.
III Europ. Conf. Atom. Molec. Phys. Ionis. Gases
, Bratislava, Чехия, 15-18 октября 1976
Тезисы докладов
2021
Влияние низкотемпературной плазмы на культуру зеленых водорослей
Якунин В.Г.
,
Мазина С.Е.
,
Бенитсиафантука Э.У.
, Головин М.Л.,
Кузнецов С.В.
,
Савинов В.П.
,
Тимошенко В.Ю.
в сборнике
Труды 11 Всероссийской конференции "Необратимые процессы в природе и технике",
, издательство
Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана
(М.)
, том 1, тезисы, с. 99-102
2021
Исследование фотогипертермии в присутствии кремниевых наночастиц методом комбинационного рассеяния света
Алыкова А.Ф.
,
Якунин В.Г.
,
Завестовская И.Н.
,
Тимошенко В.Ю.
в сборнике
Труды одиннадцатой Всероссийской конференции "Необратимые процессы в природе и технике"
, серия
ЧАСТЬ 1
, издательство
МГТУ им. Н.Э. Баумана
(Москва)
, том 1, тезисы, с. 82-86
2020
Влияние рН среды на Paramecium caudatum при воздействии низкотемпературной плазмы
Калинина И.Г.
,
Карпухина О.В.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
,
Иноземцев А.Н.
, Иванов В.Б.
в сборнике
Современная химическая физика XXXII Симпозиум Сборник тезисов
, место издания
Москва
, тезисы, с. 127-128
2019
Взаимодействие плазмы с граничными поверхностями в ВЧ емкостном разряде низкого давления
Савинов В.П.
,
Круглов М.С.
,
Рябый В.А.
,
Якунин В.Г.
,
Червяков Анатолий Васильевич
в сборнике
V Международная конференция "Лазерные, плазменные исследования и технологии" ЛаПлаз-2019: Сборник научных трудов
, серия
Конференция ЛаПлаз
, издательство
НИЯУ МИФИ
(Москва)
, том 2, тезисы, с. 93-94
2019
Исследование наноструктурированных кремниевых слоёв методом спектроскопии комбинационного рассеяния света
Якунин В.Г.
, Асилбаева Р.Б.,
Тимошенко В.Ю.
в сборнике
Труды 10 Всероссийской конференции Необратимые процессы в природе и технике
, издательство
МГТУ им. Н.Э. Баумана
(Москва)
, том 1, тезисы, с. 159-162
2019
Практические применения высокоресурсного электродугового плазматрона постоянного тока
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Труды 10 Всероссийской конференции Необратимые процессы в природе и технике
, место издания
Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана Москва
, том 2, тезисы, с. 192-195
2019
Разогрев водных суспензий немагнитных непроводящих наночастиц под действием высокочастотного электромагнитного излучения
Каргина Ю.В.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Якунин В.Г.
,
Харин А.Ю.
в сборнике
тезисы докладов 27 Международной конференции ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЕ ПОЛЕ И МАТЕРИАЛЫ (Фундаментальные Физические Исследования)
, место издания
Издательство МЭИ МОСКВА МЭИ
, тезисы, с. 363-363
2019
Эффект низкотемпературной плазмы атмосферного давления на жизнедеятельность простейшего организма Paramecium Caudatum
Карпухина О.В.
,
Иноземцев А.Н.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Труды 10 Всероссийской конференции Необратимые процессы в природе и технике
, издательство
МГТУ им. Н.Э. Баумана
(Москва)
, том 1, тезисы, с. 254-257
2018
Наноструктурирование поверхности кристаллического кремния и германия в плазме искрового разряда
Якунин В.Г.
,
Преснов Д.Е.
,
Степихова М.В.
,
Яблонский А.Н.
,
Савинов В.П.
,
Тимошенко В.Ю.
в сборнике
IV Международная конференция "Лазерные, плазменные исследования и технологии" ЛаПлаз-2018: Сборник научных трудов
, серия
Конференция ЛаПлаз
, издательство
НИЯУ МИФИ
(Москва)
, тезисы, с. 274-276
редакторы
Собенин Николай Павлович
,
Степаненко Александр Александрович
2018
Экспериментальное исследование воздействия низкотемпературной плазмы на биологический объект - одноклеточный организм paramecium caudatum
Иноземцев А.Н., Карпухина О.В.,
Мелихов И.В.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Тимошенко В.Ю.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
IV Международная конференция "Лазерные, плазменные исследования и технологии" ЛаПлаз-2018: Сборник научных трудов
, серия
Конференция ЛаПлаз
, издательство
НИЯУ МИФИ
(Москва)
, тезисы, с. 217-220
редакторы
Собенин Николай Павлович
,
Степаненко Александр Александрович
2017
Disturbances in ICP Plasmas by Langmuir Probes with Uninsulated Protecting Shields
Riaby V.
,
Godyak V.
,
Masherov B.
,
Alexandrovich B.
,
Savinov V.
,
Yakunin V.
в сборнике
Proceedings of the 12th International Workshop on Electric Probes in Magnetized Plasmas
, место издания
Naklo, Slovenia
, тезисы, с. 116.1-116.2
2016
Новые применения зондов Ленгмюра
Машеров П.Е.
, Рябый В.А.,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Тезисы X конференции "Современные средства диагностики плазмы и их применение"
, издательство
НИЯУ МИФИ
(Москва)
, тезисы
2012
Charge fluctuations in the complex lithium oxides
Netesova N.P.
,
Arakeljan E.A.
,
Yakunin3 V.G.
в сборнике
XV Международная конференция по Оптонанотехнологии и микросистемам
, место издания
г.Ульяновск
, тезисы, с. 69-69
2012
Свойства углеродных пленок, полученных распылением графитовой мишени пучком ускоренных ионов аргона
Александров А.Ф.
,
Хвостов В.В.
,
Якунин В.Г.
,
Стрелецкий О.А.
,
Иваненко И.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
труды XXXIX Международной конференции по физике плазмы и УТС 2012
, тезисы
2011
Current density measurements for electrons emitted by electrodes of a low pressure RF capacitive discharge
Kovalevsky V.L.
,
Riaby V.A.
,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
в сборнике
Proceedings of the ICPIG 2011 Conference
, место издания
Belfast
, тезисы, с. C9-050-1-C9-050-3
2011
Влияние внешней цепи разряда на энерговклад в гибридный ВЧ разряд низкого давления
Александров А.Ф.
, Вавилин К.В.,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Рухадзе А.А.
,
Савинов В.П.
,
Чжао Ч.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
XXXVIII Международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС
, серия
Тезисы докладов
, место издания
РАН Москва
, тезисы
2011
Диагностика приэлектродных слоев пространственного заряда ВЧ емкостного разряда
Александров А.Ф.
,
Ковалевский В.Л.
, Рябый В.А.,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
материалы Международной конференции "физика высокочастотных разрядов" (ICPRFD 2011)
, место издания
издательство Казанского государственного технологического университета Казань
, тезисы
2011
Получение однородной плазмы перед подложкой при использовании подготовительного ВЧЕ разряда
Рябый В.А.,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Материалы Междунар. конф. "Физика ВЧ разрядов"
, место издания
Казаннь
, тезисы, с. 265-266
2010
Экспериментальное изучение закономерностей энеговклада в гибридный ВЧ разряд низкого давления
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Рухадзе А.А.
,
Савинов В.П.
,
Чжао Ч.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Тез.докл. XXXVII Межд. (Звенигородской) конф. по физике плазмы и УТС
, место издания
Звенигород
, тезисы, с. 372-372
2001
Бесконтактный метод изучения параметров приэлектродной области ВЧ разряда
Александров А.Ф.
, Рябый В.А.,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Тез.докл. III Междунар. научно-техн. конф. "Фундаментальные и прикладные проблемы физики"
, место издания
Саранск
, тезисы, с. 23-23
1999
Особенности электрофизического взаимодействия кремниевых пластин с газоразрядной плазмой
Александров А.Ф.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
в сборнике
XXVI Звенигородская конф. по физике плазмы и УТС: Тез. Докл
, место издания
М.: ИОФ РАН Москва
, тезисы, с. 269-269
1998
Optoelectronik Parameters of High-temperature superconductors
Netesova N.P.
,
Yakunin V.G.
в сборнике
Abstracts. Applied Superconductivity Conference
, тезисы, с. 123
1998
Oscillation model of crystal and solution
Netesova N.P.
,
Yakunin V.G.
в сборнике
The abstract book, I All-Russia, Conference Molecular modeling, The Russian Academy of Sciences, Moscow, Apr. 14-16
, место издания
Moscow
, тезисы, с. 21
1998
Oxygen Oscillations for High-temperature Superconductor Transition
Netesova N.P.
,
Yakunin V.G.
в сборнике
53-rd Ohio State University International Symposium on Molecular Spectroscopy, June 15-19, 1998, FC07
, тезисы, с. FC07p.272
1998
Относительная плотность приэлектродных электронных пучков в плазме емкостного ВЧ разряда
Ковалевский В.Л.
,
Савинов В.П.
,
Сингаевский И.Ф.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Тез. докл. IX конф. по физике газового разряда
, место издания
Рязань
, том 1, тезисы, с. 102-103
1997
Plasma Mechanism of High Temperature Superconductor Phase Transitions
Netesova N.P.
,
Yakunin V.G.
в сборнике
6-th Int. Superconductive Electronics Conference, Berlin, June 25-28, 1997 Extended Abstracts-Volume 2: Junctions and Digital Applications, J9
, место издания
Berlin
, тезисы, с. J9, p. 1-J9, p. 3
1997
Взаимодействие джозефсоновских переходов в присутствии сверхпроводящего магнитного экрана
Жгун С.А.
,
Иванов А.А.
,
Кислинский Ю.В.
,
Кудрявцев Е.М.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Тезисы докладов В орой Международной конференции "Физико-технические проблемы электротехнических материалов и компонентов", Клязьма 1-4 декабря 1997 г
, тезисы, с. 155-156
1996
Influence of the light irradiation on electronic properties of cuprate crystals
Netesova N.P.
,
Yakunin V.G.
в сборнике
The abstract book, Conference on material plasticity and durability deformation influence, Voronezh State Techn. Univ., Voronezh, Russia, Septem. 9-13
, место издания
Voronezh
, тезисы, с. 63-63
1995
Spectroscopic plasma properties of high temperature superconductor
Netesova N.P.
,
Yakunin V.G.
в сборнике
The abstract book, 50 Int. Symp. Molec. Spectr, Ohio State Univ., Columbus, USA, RE 11
, тезисы
1994
Физические процессы при обработке полупроводниковых пластин в плазме ВЧ разряда
Александров А.Ф.
, Рябый В.А.,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Материалы Российской Конференции с участием зарубежных ученых “Микроэлектроника-94”
, место издания
Звенигород
, том 1, тезисы, с. 239-240
1988
The peculiarities of electron concentration dependence on pressure and gas sort in transversal HF discharge plasma
Kuzovnikov A.A.
,
Malyarov A.V.
,
Savinov V.P.
,
Yakunin V.G.
в сборнике
Proceedings of the IX Europhysics sectional conference on the atomic and molecular physics of ionized gases
, место издания
Lisbon, Portugalia
, тезисы, с. 203-204
1988
Характер зависимости концентрации электронов от давления и рода газа в плазме поперечного ВЧ разряда
Двинин С.А.
,
Кузовников А.А.
,
Маляров А.В.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Тезисы докладов IV Всесоюзной конференции по физике газового разряда
, издательство
Камертон
(Махачкала)
, тезисы, с. 88-89
1974
Сегнтоэлектрические термостабилизирующиеся исследования колебательной системы
Иванов И.В.
,
Рукин Е.И.
,
Гуськов В.П.
,
Якунин В.Г.
в сборнике
Проблемы свойств сегнетоэлектриков
, место издания
Ужгород
, том 1, тезисы, с. 51-52
НИРы
12 мая 2016 - 31 декабря 2018
Разработка методов формирования и ультразвуковой активации биосовместимых и биодеградируемых наночастиц для противоопухолевой терапии
Кафедра физики низких температур и сверхпроводимости
Руководитель:
Тимошенко В.Ю.
Ответственные исполнители:
Андреев В.Г.
,
Ле-Дейген И.М.
,
Свиридов А.П.
,
Тамаров К.П.
Участники НИР:
Андреев В.Г.
,
Базыленко Т.Ю.
,
Гончар К.А.
,
Каргина Ю.В.
,
Крит Т.Б.
,
Ле-Дейген И.М.
,
Осминкина Л.А.
,
Родичкина С.П.
,
Якунин В.Г.
11 февраля 2016 - 31 декабря 2018
Гиперполяризованные магниторезонансные и электронные состояния нанокристаллов кремния с заданным изотопным составом
Кафедра физики низких температур и сверхпроводимости
Руководитель:
Тимошенко В.Ю.
Участники НИР:
Базыленко Т.Ю.
,
Гиппиус А.А.
,
Гонгальский М.Б.
,
Зверева Е.А.
,
Каргина Ю.В.
,
Пирогов Ю.А.
,
Якунин В.Г.
2 апреля 2015 - 31 декабря 2017
Наночастицы на основе кремния, полученные методом лазерной абляции, для биофотонных применений
Кафедра физики низких температур и сверхпроводимости
Руководитель:
Тимошенко В.Ю.
Ответственные исполнители:
Гонгальский М.Б.
,
Осминкина Л.А.
Участники НИР:
Базыленко Т.Ю.
,
Гонгальский М.Б.
,
Свиридов А.П.
,
Тамаров К.П.
,
Шеваль Е.В.
,
Якунин В.Г.
1 января 2001 - 31 декабря 2015
Ионная и электронная стимуляция процессов на поверхности твердых тел
Физический факультет
Руководитель:
Александров А.Ф.
Участники НИР:
Гайнуллин И.К.
,
Гусева М.Б.
,
Дмитриев А.В.
,
Зыкова Е.Ю.
,
Иваненко И.П.
,
Коробова О.П.
,
Коробова Ю.Г.
,
Савченко Н.Ф.
,
Стрелецкий О.А.
,
Хайдаров А.А.
,
Хвостов В.В.
,
Якунин В.Г.
1 января 1999 - 31 декабря 2025
Электронные процессы в полупроводниковых структурах и материалах для электроники и оптоэлектроники
Физический факультет
Руководители:
Днепровский В.С.
,
Снигирев О.В.
Участники НИР:
Белогорохова Л.И.
,
Васильев А.А.
,
Голинская А.Д.
,
Дагесян С.А.
,
Днепровский В.С.
,
Дорофеев А.А.
,
Звягин И.П.
,
Казанский А.Г.
,
Козлова М.В.
,
Кошелев О.Г.
,
Краевский М.В.
,
Курова И.А.
,
Лебедев А.И.
,
Манцевич В.Н.
,
Мещерякова О.И.
,
Миронов А.Г.
,
Ормонт М.А.
,
Ормонт Н.Н.
,
Савинов В.П.
,
Случинская И.А.
,
Смирнов А.М.
,
Сухова Н.И.
,
Хенкин М.В.
,
Чукичев М.В.
,
Шорохов В.В.
,
Юнович А.Э.
,
Якунин В.Г.
Патенты
2021
Способ обработки овощей, плодовых, зерновых и зернобобовых культур и изготавливаемых из них продуктов
Авторы:
Иноземцев А.Н.
,
Карпухина О.В.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
#RU2740372C1, 13 января
2017
Способ диагностики плазмы зондами Ленгмюра с выводами, защищенными неизолированными снаружи экранами и устройство для его осуществления
Авторы:
Рябый В.А.
,
Машеров П.Е.
,
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
#RU2671948, H05H 1/00, H01J 27/00, 13 ноября
1992
Плазмохимический реактор баррельного типа
Авторы:
Киреев В.Ю.
,
Ковалевский В.Л.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Спорыхин А.А.
,
Якунин В.Г.
#Пат. РФ № RU2024990 C1, 5H01L 21/302, 1992, 23 марта
1988
Плазмохимический реактор
Авторы:
Бояршинов Ю.А.,
Ермолова Н.А.
,
Маляров А.В.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Спорыхин А.А.
,
Якунин В.Г.
#А.С. СССР № 1609392, 5H01L 21/302, 17 июня
1987
Способ контроля параметров плазмы низкого давления в высокочастотном емкостном разряде
Авторы:
Ковалевский В.Л.
,
Кузовников А.А.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Спорыхин А.А.
,
Якунин В.Г.
#А.С. СССР № 1531827, H01L 21/00, 26 июня
1986
Способ плазмохимического удаления органических соединений с поверхности полупроводниковых пластин.
Авторы:
Воробьёв В.В.
,
Кондаков М.И.
,
Маляров А.В.
,
Мартынова Т.С.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Спорыхин А.А.
,
Якунин В.Г.
#А.С. СССР № 1429842, H01L 21/306, 25 сентября
1986
Установка для плазмохимической обработки материалов
Авторы:
Бояршинов Ю.А.
,
Малярова М.А.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Спорыхин А.А.
,
Хурошвили Ш.Г.
,
Якунин В.Г.
#А.С. СССР №1463115, H01L 21/00, 1 августа
Отчеты
2014
Ионная и электронная стимуляция процессов на поверхности твердого тела
Авторы:
Александров Андрей Федорович
,
Гусева Мальвина Борисовна
,
Хвостов Валерий Владимирович
,
Савченко Наталья Федоровна
,
Стрелецкий Олег Андреевич
,
Дмитриев Артемий Владимирович
,
Гайнуллин Иван Камилевич
,
Зыкова Екатерина Юрьевна
,
Иваненко Илья Петрович
,
Коробова Ольга Петровна
,
Коробова Юлия Геннадьевна
,
Хайдаров Абдусаме Абосович
,
Якунин Валерий Георгиевич
#01200108680, 2 с.
Диссертация
1985
Физические параметры плазмы поперечного ВЧ разряда, поддерживаемого собственными электростатическими полями
Кандидатская диссертация по специальности 01.00.00 - ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ (физ.-мат. науки)
Автор:
Якунин В.Г.
, к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
Научные руководители:
Кузовников А.А.
,
Савинов В.П.
, д.ф.-м.н., доц., МГУ имени М.В. Ломоносова
Защищена в совете
Д 501. 001. 66
при МГУ имени М.В. Ломоносова
Руководство дипломными работами
1992
Ионно-плазменное травление крутых ступеней в подложках, используемых для напыления ВТСП- материалов.
Научный руководитель:
Якунин В.Г.
Автор: Лотхов С.В., (Специалист)
1987
Бесконтактный метод измерения собственных электростатических полей в емкостном ВЧ разряде.
Научные руководители:
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
Автор: Бабкин А.Л. (Специалист)
1983
Исследование кинетики электронов в плазме емкостного ВЧ разряда в гелии при средних давлениях
Научные руководители:
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
Автор: Елисеев Н.В. (Специалист)
1977
Не-Сd+ лазер на поперечном ВЧ разряде
Научные руководители:
Савинов В.П.
,
Якунин В.Г.
Автор: А.Н. Новоселов (Специалист)