|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
A Thin-Film Platform for Chemical Gas Sensorsстатья Исследовательская статья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 3 ноября 2018 г.
- Авторы: Roslyakov I.V., Napolskii K.S., Stolyarov V.S., Karpov E.E., Ivashev A.V., Surtaev V.N.
- Журнал: Russian Microelectronics
- Том: 47
- Номер: 4
- Год издания: 2018
- Издательство: Maik Nauka/Interperiodica Publishing
- Местоположение издательства: Russian Federation
- Первая страница: 226
- Последняя страница: 233
- DOI: 10.1134/S1063739718040078
- Аннотация: In the study, a technique for formation of planar microheaters that make it possible to heat an active zone to a temperature higher than 500°С is proposed and successfully implemented. The developed heating elements are distinguished by low power consumption, short response time, and extremely high resistance to impact loads. The synthetic approaches used in the work (anodic oxidation, photolithography, and magnetron sputtering) feature manufacturability and scaling simplicity. This makes planar heating elements a promising platform based on which semiconductor and thermocatalytic sensors of toxic and explosive gases may be created.
- Добавил в систему: Росляков Илья Владимирович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Roslyakov2018_Article_AThin-FilmPlatformForChemicalG.pdf | Roslyakov2018_Article_AThin-FilmPlatformForChemicalG.pdf | 935,4 КБ | 22 июля 2018 [Stolyarov] | |
| 2. | Полный текст | Roslyakov2018_Article_AThin-FilmPlatformForChemicalG_7J2l1L… | 935,4 КБ | 22 июля 2018 [Stolyarov] |