|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Об экспериментальной оценке электростатического напряжения, возникающего на МОП- структурах при плазменной обработкестатья
- Авторы: Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
- Журнал: Труды Физико-технологического института
- Номер: 10
- Год издания: 1995
- Издательство: Физико-технологический институт РАН
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 150
- Последняя страница: 157
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович