|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Dry cleaning of transition-metal dichalcogenides using reducing downstream plasmaтезисы доклада
- Авторы: Marinov D., de Marneffe J.F., Zhang J., With P., Smets Q., Arutchelvan G., Voronina E., Mankelevich Yu, Rakhimova T., et al.
- Сборник: Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2019). Book of abstracts. May 20–21, 2019, Grenoble, France
- Тезисы
- Год издания: 2019
- Место издания: MINATEC Grenoble, France
- Первая страница: 100
- Последняя страница: 101
- Добавил в систему: Воронина Екатерина Николаевна