Dry cleaning of transition-metal dichalcogenides using reducing downstream plasmaтезисы доклада
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 8 апреля 2020 г.
-
Авторы:
Marinov D.,
de Marneffe J.F.,
Zhang J.,
With P.,
Smets Q.,
Arutchelvan G.,
Voronina E.,
Mankelevich Yu,
Rakhimova T.,
et al.
-
Сборник:
Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2019). Book of abstracts. May 20–21, 2019, Grenoble, France
-
Тезисы
-
Год издания:
2019
-
Место издания:
MINATEC Grenoble, France
-
Первая страница:
100
-
Последняя страница:
101
-
Добавил в систему:
Воронина Екатерина Николаевна