Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Plasma Cleaning of Multilayer Coatings from Carbon and Tin Contaminations
статья
Авторы:
Ivanov V.V.,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Braginsky O.V.
Сборник:
International EUVL Symposium, 15 – 18 October 2006, Barcelona, Spain
Год издания:
2006
Место издания:
Barcelona, Spain
Добавил в систему:
Лопаев Дмитрий Викторович