In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrorsстатья
-
Авторы:
Malykhin E.M.,
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Koshelev K.N.,
Krivtsun V.M.,
Yakushev O.F.
-
Сборник:
Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France
-
Серия:
7
-
Том:
55
-
Год издания:
2010
-
Место издания:
Paris, France
-
Добавил в систему:
Лопаев Дмитрий Викторович