Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Impact of structural changes in e-beam negative resist hydrogen silsesquioxane (HSQ) to ecth-resistance at different doses of exposure
тезисы доклада
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 апреля 2017 г.
Авторы:
Ivanenko I.P.
,
Kalnov V.A.
,
Miakonkikh A.V.
,
Orlikovsky N.A.
,
Tatarintsev A.A.
Сборник:
International Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2014". Book of abstracts
Тезисы
Год издания:
2014
Место издания:
Moscow-Zvenigorod, Russia
Первая страница:
O1-13
Добавил в систему:
Татаринцев Андрей Андреевич