Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Comprehensive simulation of SEM images taking into account local and global electromagnetic fields
статья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 27 мая 2015 г.
Авторы:
Babin Sergey
,
Borisov Sergey S.
,
Ito Hiroyuki
,
Ivanchikov Andrei
,
Matison Dmitri
,
Militsin Vladimir
,
Suzuki Makoto
Сборник:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Год издания:
2010
Первая страница:
77290W
Последняя страница:
77290W-6
Добавил в систему:
Борисов Сергей Сергеевич