|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Удаление метильных групп с поверхности low-k диэлектриков ионами Ar и Xe низкой энергиитезисы доклада
- Авторы: Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
- Сборник: Сборник тезисов докладов XXII межвузовской молодежной научной школы-конференции имени Б. С. Ишханова «Концентрированные потоки энергии в космической технике электронике, экологии и медицине» 22-23 ноября 2021 г
- Тезисы
- Год издания: 2021
- Место издания: Москва
- Первая страница: 22
- Последняя страница: 23
- Добавил в систему: Соловых Александр Алексеевич