|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК а-С:Н В ДИАПАЗОНЕ ТОЛЩИН 10 -300 НМтезисы доклада
- Авторы: Слепцов В.В., Елинсон В.М., Баранов А.М., Кондрашов П.Е.
- Сборник: ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ И НОВЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ ПЛАЗМЕННОЙ ТЕХНОЛОГИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ: Материалы докладов межотраслевого научно-технического семинара
- Тезисы
- Год издания: 1989
- Место издания: Харьков
- Первая страница: 182
- Последняя страница: 182
- Добавил в систему: Кондрашов Павел Евгеньевич