Аннотация:Для определения влияния потенциала поверхности диэлектрических образцов на выход положительных ионов при ионном облучении проведено исследование зависимости тока вторичныхчастиц от толщины диэлектрических плёнок. Показано, что выход положительных вторичныхчастиц значительно увеличивается с ростом толщины, если потенциал зарядки плёнки не превышает пробойного значения, определяемого электрической прочностью плёнки. Косвеннымподтверждением зарядки плёнки в этих экспериментах служит зависимость от времени токас держателя образца. Проведена экспериментальная оценка аппаратного эффекта, вызванногоэмиссией вторичных электронов из полусферического коллектора. Обсуждаются возможныемеханизмы наблюдаемых явлений.