|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Особенности взаимодействия атомов инертных газов низкой энергии с метильными группами на поверхности low k диэлектриковстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 2
- Год издания: 2023
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 63
- Последняя страница: 70
- Переводные версии: Peculiarities of interaction of low-energy noble gas atoms with methyl groups on the low-κ surface
- DOI: 10.1134/S1027451023010391
- Добавил в систему: Воронина Екатерина Николаевна