|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Peculiarities of interaction of low-energy noble gas atoms with methyl groups on the low-κ surfaceстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 15 февраля 2024 г.
- Авторы: Solovykh A.A., Sycheva A.A., Voronina E.N.
- Журнал: Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
- Том: 17
- Номер: 1
- Год издания: 2023
- Издательство: Pleiades Publishing, Ltd
- Местоположение издательства: Road Town, United Kingdom
- Первая страница: 228
- Последняя страница: 234
- Оригинальные версии: Особенности взаимодействия атомов инертных газов низкой энергии с метильными группами на поверхности low k диэлектриков
- DOI: 10.1134/s1027451023010391
- Добавил в систему: Воронина Екатерина Николаевна