|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Indigenous facility of the unipolar pulsed power generation for gas flow sputtering of titania filmsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 апреля 2024 г.
- Авторы: Alktash Nivin, Muydinov Ruslan, Erfurt Darja, Hartig Manuel, Gajewski Wojciech, Szyszka Bernd
- Журнал: Review of Scientific Instruments
- Том: 94
- Номер: 7
- Год издания: 2023
- Издательство: AIP Publishing
- Местоположение издательства: United States
- Номер статьи: 075104
- DOI: 10.1063/5.0148807
- Добавил в систему: Muydinov Ruslan Yur´evich