|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Удаление метильных групп с поверхности low-k диэлектриков плазмой различного составатезисы доклада
- Авторы: Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
- Сборник: Тезисы докладов 53-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
- Тезисы
- Год издания: 2024
- Место издания: КДУ Москва
- Первая страница: 146
- DOI: 10.31453/kdu.ru.978-5-00247-026-6-2024-194
- Добавил в систему: Соловых Александр Алексеевич