|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Виртуальный датчик потока и энрегии ионов на ВЧ электроде в высокочастотной плазме низкого давлениястатья
- Авторы: Богданова М.А., Лопаев Д.В., Зырянов С.М.
- Сборник: Сборник материалов всероссийской конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-2014
- Серия: ISBN 978-5-7882-1578-5 и ISBN 978-5-7882-1579-2
- Том: 1
- Год издания: 2014
- Место издания: Изд-во: КНИТУ Казань
- Первая страница: 311
- Последняя страница: 314
- Аннотация: Современная технология создания структур микро- и наномасштаба не обходится без процесса анизотропного ионностимулированного плазмохимического травления (RIE), который осуществляется в асимметричных вч разрядах низкого давления. Для настройки и осуществления контроля над этим процессом важно знание потока и энергетического спектра ионов на поверхности вч нагруженного электрода, однако, в современных реакторах нет возможности измерять его напрямую в режиме реального времени. Тем не менее, можно создать некую «виртуальную» диагностику, позволяющую наблюдать энергетический спектр ионов без его непосредственного измерения. Данная диагностика должна включать в себя расчёт энергетического спектра ионов и их потока в соответствии с простой физической моделью бесстолкновительного вч слоя и движения ионов в нём. Также, расчёт должен производиться в режиме реального времени на основе ряда внешних измеряемых параметров используемого разряда. Данная работа как раз посвящена созданию подобной виртуальной диагностики энергетического спектра ионов. Работа содержит модельные расчёты энергетического спектра ионов и их потока в аргоновой и водородной плазме в разных режимах, а также сравнение результатов с экспериментальными данными, полученными с помощью анализатора RFEA. Хорошее согласие расчётных и экспериментальных данных позволяет сделать вывод о том, что на основе используемой физической модели может быть разработана виртуальная диагностика энергетического спектра ионов. Кроме этого, в работе были произведены измерения потока ионов на поверхность вч электрода с помощью новой методики переменного автосмещения, не требующей измерений внутри плазмы. Результаты данных измерений показали довольно хорошее согласие с данными, полученными зондовым методом и анализатором RFEA.
- Добавил в систему: Лопаев Дмитрий Викторович