|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Combined electron-beam method of the diagnostic of 3D-microelectronic structures in scanning electron microscopyтезисы доклада
- Авторы: Lukyanov F.A., Orlikovsky N.A., Rau E.I., Sennov R.A.
- Сборник: International Conference Micro- and nanoelectronics 2009 (ICMNE-2009) , October 5-9, 2009, Zvenigorod, Moscow region, Abstracts
- Тезисы
- Год издания: 2009
- Первая страница: O3-19
- Добавил в систему: Рау Эдуард Иванович