Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Combined electron-beam method of the diagnostic of 3D-microelectronic structures in scanning electron microscopy
тезисы доклада
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 29 марта 2018 г.
Авторы:
Lukyanov F.A.
,
Orlikovsky N.A.
,
Rau E.I.
,
Sennov R.A.
Сборник:
International Conference Micro- and nanoelectronics 2009 (ICMNE-2009) , October 5-9, 2009, Zvenigorod, Moscow region, Abstracts
Тезисы
Год издания:
2009
Первая страница:
O3-19
Добавил в систему:
Рау Эдуард Иванович