–
Статьи в журналах
-
- 2019 Impact of VUV photons on SiO2 and organosilicate low-k dielectrics: General behavior, practical applications, and atomic models
- Baklanov M.R., Jousseaume V., Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Afanas'ev V.V., Shohet J.L., King S.W., Ryan E.T.
- в журнале APPLIED PHYSICS REVIEWS, том 6, № 1, с. 011301 DOI