ИСТИНА

Переверзев А.Л.

2 патента

IstinaResearcherID (IRID): 411814245

Деятельность

• Патенты

  • • 2021 Способ определения механических свойств тонкопленочных мембран, сформированных над круглыми отверстиями
    • Авторы: Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Беспалов В.А., Переверзев А.Л.
    • #2758417, 28 октября
  • • 2021 Способ эллипсометрического контроля топографического рельефа, механических напряжений и дефектности пленок на подложках
    • Авторы: Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Беспалов В.А., Переверзев А.Л.
    • #2744821, 16 марта