Ковалев Александр Сергеевич — профиль

Ковалев Александр Сергеевич KovalevAlexander

доктор физико-математических наук с 1983 года

профессор по специальности № физика и химия плазмы с 17 сентября 1992 г.

МГУ имени М.В. Ломоносова Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии (Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына) главный научный сотрудник с 3 мая 1965 г.

IstinaResearcherID (IRID): 463569

ResearcherID: A-2634-2019

Scopus Author ID: 56494185600

ORCID: 0000-0002-2061-3467

Области научных интересов

Физика плазмы

Исследования в области физики плазмы и физики газового разряда в приложении к технологии микроэлектроники

Ключевые слова: Физика плазмы. Физика газового разряда. Технология микроэлектроники / Plasma physics. Gas discharge physics. Microelectronic technology.

Ключевые слова

Физика плазмы

Plasma physics