IVC-12 and ICSS-8, Book of Abstractsсборник
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
1992
Low Pressure RF Discharge in Electronegative Gases for Plasma Processing
-
Feoktistov V.A.,
Lopaev D.V.,
Klopovsky K.S.,
Popov A.M.,
Popovicheva O.B.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике IVC-12 and ICSS-8, Book of Abstracts, место издания The Hague, The Netherlands, тезисы, с. 174