ИСТИНА

Павлов Г.Я.

Соавторы: Айрапетов А.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Сологуб В.А., Вавилин К.В., Одиноков В.В., Петров А.К., Александров А.Ф., CHURILOV A., Metlitskaya A., Кулова Т.Л. показать полностью..., Мироненко А.А., Никольская Н.Ф., Одиноков В.В., Пухов Д.Э., Скундин А.М., Федоров И.С., Rudoy A.N., Rudy A.S., Айрапетов А.А., Васильев С.В., Одиноков В.В., Сологуб В.А., Сологуб В.А.

8 статей, 4 доклада на конференциях, 2 тезисов докладов, 1 патент

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 1, Scopus: 4

IstinaResearcherID (IRID): 12233781

Деятельность

• Статьи в журналах

  • 
    • 2018 Plasma Parameters in the Reactor with Simultaneous Magnetron Discharge and Inductive Radio-Frequency Discharge in the Presence of External Magnetic Field
    • Aleksandrov A.F., Vavilin K.V., Kral’kina E.A., Neklyudova P.A., Nikonov A.M., Pavlov V.B., Airapetov A.A., Odinokov V.V., Pavlov G.Ya, Sologub V.A.
    • в журнале Journal of Communications Technology and Electronics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 63, № 4, с. 374-380 DOI
  • • 2018 Параметры плазмы в реакторе, совмещающем магнетронный разряд и индуктивный высокочастотный разряд во внешнем магнитном поле
    • Александров А.Ф., Петров А.К., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Сологуб В.А., Павлов Г.Я.
    • в журнале Радиотехника и электроника, издательство Наука (М.), том 63, № 4, с. 364-371
  • 
    • 2016 Influence of external conditions on physical processes and plasma parameters in a model of a high-frequency hybrid plasma system
    • Aleksandrov A.F., Petrov A.K., Vavilin K.V., Kral’kina E.A., Neklyudova P.A., Nikonov A.M., Pavlov V.B., Airapetov A.A., Odinokov V.V., Pavlov G.Ya, Sologub V.A.
    • в журнале Russian Microelectronics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 45, № 6, с. 433-441 DOI
  • 
    • 2016 Thin Film Negative Electrode Based on Silicon Composite or Lithium-Ion Batteries
    • Airapetov A.A., Vasiliev S.V., Kulova T.L., Lebedev M.E., Metlitskaya A.V., Mironenko A.A., Nikol’skaya N.F., Odinokov V.V., Pavlov G.Ya, Pukhov D.E., Rudyi A.S., Skundin A.M., Sologub V.A., Fedorov I.S., Churilov A.B.
    • в журнале Russian Microelectronics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 45, № 4, с. 285-291
  • • 2016 Влияние плазмы геликонного разряда на структуру тонких пленок при магнетронном распылении
    • Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Сологуб В.А.
    • в журнале Вакуумная техника и технология, № №1
  • • 2016 Геликонный источник как элемент гибридной плазменной системы в установках для нанесения тонкопленочных покрытий с управляемой наноструктурой
    • Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Петров А.К., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Сологуб В.А.
    • в журнале Наноиндустрия, издательство АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера" (Москва), том 2, № 64, с. 74-86
  • • 2016 Тонкоплёночный отрицательный электрод на основе композита кремния для литий-ионных аккумуляторов
    • Айрапетов А.А., Васильев С.В., Кулова Т.Л., Лебедев М.Е., Метлицкая А.В., Мироненко А.А., Никольская Н.Ф., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Пухов Д.Э., Рудый А.С., Скундин А.М., Сологуб В.А., Федоров И.С., Чурилов А.Б.
    • в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 45, № 3, с. 305-312
  • 
    • 2015 Исследование параметров плазмы «геликонного» разряда в макете ВЧ гибридной плазменной системы
    • Александров А.Ф., Петров А.К., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Сологуб В.А., Павлов Г.Я.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 3, с. 25-28

• Доклады на конференциях

  • • 2016 ВЛИЯНИЕ ПЛАЗМЫ ГЕЛИКОННОГО РАЗРЯДА НА СТРУКТУРУ ТОНКИХ ПЛЁНОК ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ (Устный)
    • Авторы: Сологуб В.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я.
    • 23-я Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием «ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ – 2016», Россия, 7-9 июня 2016
  • • 2016 Гибридная плазменная система с источником геликонного разряда (Устный)
    • Авторы: Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Петров А.К., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Сологуб В.А.
    • XI международная научно-техническая конференция «Вакуумная техника, материалы и технология», Москва, КВЦ «Сокольники», Россия, 12-14 апреля 2016
  • • 2016 Влияние внешних параметров на характеристики плазмы в гибридной плазменной системе, основанной на магнетронном и геликонном разрядах (Стендовый)
    • Авторы: Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Петров А.К., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Сологуб В.А., Павлов Г.Я.
    • XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, Россия, 8-12 февраля 2016
  • • 2015 Гибридная плазменная система для магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием (Стендовый)
    • Авторы: Вавилин К.В., Неклюдова П.А., Петров А.К., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Сологуб В.А., Кралькина Е.А.
    • VII Всероссийская (с международным участием) конференция "Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий", Россия, 4-7 ноября 2015

• Тезисы докладов

  • • 2016 Влияние внешних параметров на характеристики плазмы в гибридной плазменной системе, основанной на магнетронном и геликонном разрядахдоклад на конференции XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
    • Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Петров А.К., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Сологуб В.А., Павлов Г.Я.
    • в сборнике Сборник тезисов докладов. XLIII Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу, место издания ЗАО НТЦ изд-во «ПЛАЗМАИОФАН» Москва, тезисы, с. 347-347
  • • 2016 ГИБРИДНАЯ ПЛАЗМЕННАЯ СИСТЕМА ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ С ИОННЫМ АССИСТИРОВАНИЕМ //
    • Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Петров А.К., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Сологуб В.А.
    • в сборнике Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. VII Всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция: сборник статей, место издания Отечество Казань, тезисы, с. 19-22

• Патенты

  • • 2018 Реактор для плазменной обработки полупроводниковых структур
    • Авторы: Павлов Г.Я., Сологуб В.А., Одиноков В.В., Бирюков М.Г., Айрапетов А.А., Павлов В.Б., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Петров А.К., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Карпенкова Е.В., Гусева Н.Б.
    • #2670249, 19 октября