|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
ГИБРИДНАЯ ПЛАЗМЕННАЯ СИСТЕМА ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ С ИОННЫМ АССИСТИРОВАНИЕМ //тезисы доклада
- Авторы: Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Петров А.К., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Сологуб В.А.
- Сборник: Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. VII Всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция: сборник статей
- Тезисы
- Год издания: 2016
- Место издания: Отечество Казань
- Первая страница: 19
- Последняя страница: 22
- Добавил в систему: Неклюдова Полина Алексеевна