Recombination Probabilities of О and Н Atoms on the Surface of Nanoporous Low-K SiOCH Dielectricsстатья
-
Авторы:
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Malykhin E.M.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
Сборник:
Proceedings of Advanced Metallization Conference (AMC), September 23-25 2008, San Diego California, USA, and October 8-10 2008, Tokyo, Japan
-
Год издания:
2008
-
Место издания:
San Diego California, USA, and Tokyo, Japan
-
Добавил в систему:
Лопаев Дмитрий Викторович