Аннотация:Предложен метод измерения высоковольтных потенциалов по сдвигу границы тормозного рентгеновскогоспектра при зарядке диэлектриков ионами. При облучении ионами Xe+ для генерации мягкого тормозногорентгеновского излучения предложено использовать зондирующий пучок электронов. Для нивелированияэффекта компенсации заряда на поверхности подобрана величина тока зондирующего пучка электронов.Получены значения равновесных потенциалов зарядки типичных изоляторов (Al2O3-керамика, Al2O3(сапфир), SiO2 и тефлон) при разных энергиях облучения ионами. Проведено сравнение полученных данных с результатами спектрометрических исследований.