ИСТИНА

Махиборода М.А.

Соавторы: Дедкова А.А., Гусев Е.Э., Дюжев Н.А., Демин Г.Д., Киреев В.Ю., Патюков Н.Н., Преображенский Р.Ю., Товарнов Д.А., Фомичёв М.Ю., Фомичёв М.Ю.

7 статей

IstinaResearcherID (IRID): 410574683

Деятельность

• Статьи в журналах

  • • 2020 Возможности и ограничения метода контактной профилометрии при определении перепада высот для контроля топологических элементов и толщины слоев
    • Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Махиборода М.А.
    • в журнале Наноструктуры. Математическая физика и моделирование, том 20, № 2, с. 23-40 DOI
  • • 2020 Применение оптической микроскопии для качественного и количественного анализа поверхности твердых тел
    • Дедкова А.А., Махиборода М.А.
    • в журнале Наноструктуры. Математическая физика и моделирование, том 20, № 2, с. 41-64 DOI
  • • 2020 Технология временного бондинга для формирования СВЧ МЭМС-структур
    • Гусев Е.Э., Фомичёв М.Ю., Махиборода М.А., Дедкова А.А.
    • в журнале Наноиндустрия, издательство АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера" (Москва), том 13, № S4 (99), с. 503-505 DOI
  • • 2020 Технология временного бондинга для формирования СВЧ МЭМС-структур
    • Гусев Е.Э., Фомичёв М.Ю., Махиборода М.А., Дедкова А.А.
    • в журнале Наноиндустрия, издательство АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера" (Москва), том 13, № S5-2 (102), с. 556-559 DOI
  • • 2020 Экспериментальное определение механических свойств анодного элемента рентгеновского литографа
    • Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Товарнов Д.А., Махиборода М.А.
    • в журнале Журнал технической физики, издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 90, № 11, с. 1838-1842 DOI
  • • 2017 Измерение механических напряжений в фрагменте пленки нитрида кремния
    • Дедкова А.А., Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Махиборода М.А., Патюков Н.Н.
    • в журнале Наноструктуры. Математическая физика и моделирование, том 17, № 1 (31), с. 51-64
  • • 2017 Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом
    • Дюжев Н.А., Махиборода М.А., Преображенский Р.Ю., Демин Г.Д., Гусев Е.Э., Дедкова А.А.
    • в журнале Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, издательство Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва), № 4, с. 64-70 DOI