Область научных интересов

Не указана.

Образование

  • 2018 к.ф.-м.н. Деградация нанопористых диэлектриков в высокочастотной плазме и способы ее уменьшения
  • 2014 стажировка IMEC (Бельгия)

Результаты деятельности

Всего: 29 статей, 4 тезисов докладов, 1 диссертация, 17 НИР, 1 дипломная работа, 1 курсовая работа, 19 докладов на конференциях, 1 награда, 1 стажировка.

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 167, Scopus: 352

Просмотреть публикации »

Соавторы: Лопаев Д.В., Зырянов С.М., Рахимова Т.В., Рахимов А.Т., Baklanov M.R., Манкелевич Ю.А., Воронина Е.Н., Богданова М.А., Волынец А.В., Прошина О.В., Волошин Д.Г., Мележенко Д.Е., Astakhov D.I., Krivtsun V.M., de Marneffe J., el O.Z., Амиров И.И., Кропоткин А.Н., Маслаков К.И., Палов А.П., Резванов А.А., Сычева А.А., Шибанов Д.Р., Attallah A.G., Bijkerk F., Butterling M., Chanson R., Clemente I., Felim V., Goedheer W.J., Gubarev V., Heyne M.H., Hirschmann E., IVANOV V.V., Izyumov M., Khlebnikov S.A., Krainov P.V., Krishtab M.B., Lazzarino F., Lee C.J., Liedke M.O., Lin Z., Liping Z., Naumov S., Nigel H., Novikova N.N., Otell Z.e., Samara V., Seregin D.S., Sergej, Shi X., Vishnevskiy A., Vishnevskiy A.S., Vorotilov K.A., Vorotilov K., Vorotyntsev D.A., Wagner A., Yiting S., de Gendt S., de Marneffe J.F., Васильева А.Н., Ковалев А.С., Корнев В.К., Кошелев К.Б., Курчиков К.А., Медведев В.В., Мяконьких А.В., Попов Н.А., Серегин Д.С., Соловых А.А., Чукаловский А.А.