Proceedings SPIEсборник
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
2004
Optical and photoelectrical characterization of as-deposited and annealed PECVD polysilicon thin films
-
Кhomich A.V.,
Kovalev V.I.,
Vedeneev A.S.,
Kazanskii A.G.,
Forsh P.A.,
He D.,
Wang X.Q.,
Mell H.,
Vlasov I.I.,
Zavedeev E.V.
-
в сборнике Proceedings SPIE, том 5401, с. 200-207