–
Патенты
-
- 2018 Реактор для плазменной обработки полупроводниковых структур
- Авторы: Павлов Г.Я., Сологуб В.А., Одиноков В.В., Бирюков М.Г., Айрапетов А.А., Павлов В.Б., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Петров А.К., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Карпенкова Е.В., Гусева Н.Б.
- #2670249, 19 октября