Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018"
сборник
Год издания:
2018
Место издания:
Maks press Moscow
Сборник тезисов
Добавил в систему:
Татаринцев Андрей Андреевич
Статьи, опубликованные в сборнике
2018
Comparative study of the dependence of line edge roughness of resists patterns on its molecular structure
Sharapov A., Baranov G.,
Shishlyannikov A.
,
Tatarintsev A.A.
,
Gushin O.
,
Rudenko K.V.
в сборнике
Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018"
, место издания
Maks press Moscow
, тезисы, с. 178-178
2018
Determination of Al content in Al/Si thermomigration fabricated structures by X-ray diffraction
Lomov A.
, Belov A.Yu, Seredin B.,
Tatarintsev A.
, Simakin S.
в сборнике
Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018"
, место издания
Maks press Moscow
, тезисы, с. 139-139
2018
E-beam lithography of dense 10 nm line/space pattern using the HSQ mask
Tatarintsev A.A.
,
Miakonkikh A.V.
,
Rudenko K.V.
,
Shishlyannikov A.
в сборнике
Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018"
, место издания
Maks press Moscow
, тезисы, с. 48-48
2018
Fabrication and properties of SOI-based planar silicon nanowire arrays
Rogozhin A.
,
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.A.
,
Rudenko K.V.
в сборнике
Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018"
, место издания
Maks press Moscow
, тезисы, с. 196-196
2018
Features of ferroelectric charging process and switching of the domains under electron beam irradiation
Tatarintsev A.A.
,
Rau E.I.
,
Markovets K.E.
в сборнике
Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018"
, место издания
Maks press Moscow
, тезисы, с. 166-166